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在非晶硅上制备角度可控缓坡的方法
1
作者
秦康宁
张根
+4 位作者
杨泰
钟慧
蒋欣
杜波
马晋毅
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第5期670-673,共4页
介绍了一种利用光的衍射原理制备角度可控缓坡微结构的方法。该方法在光刻步骤中通过调节掩膜板与基片之间的垂直距离来控制光刻胶图形边缘曝光量,光刻显影后得到剖面为正梯形的光刻胶图形,再经过干法刻蚀得到非晶硅的缓坡微结构。结果...
介绍了一种利用光的衍射原理制备角度可控缓坡微结构的方法。该方法在光刻步骤中通过调节掩膜板与基片之间的垂直距离来控制光刻胶图形边缘曝光量,光刻显影后得到剖面为正梯形的光刻胶图形,再经过干法刻蚀得到非晶硅的缓坡微结构。结果表明,制备的非晶硅缓坡结构角度(可小于30°)可控,制备方法简单,与半导体工艺兼容,可避免湿法刻蚀带来的过蚀及角度不均匀问题。
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关键词
正胶
光刻
非晶硅
干法刻蚀
反应离子刻蚀
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职称材料
一种基于柔性基底的薄膜体声波谐振器
被引量:
1
2
作者
杨泰
张根
+5 位作者
秦康宁
杜波
蒋欣
马晋毅
钟慧
石玉
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期901-904,共4页
为了能有效解决柔性基底体声波谐振器热稳定性不足及功率容量不足等问题,该文提出了一种新型的基于柔性基底的薄膜体声波谐振器。该谐振器的硅衬底上开设有一定数量的垂直上凸型结构,该结构既能有效抑制寄生模量,又能减小器件最高稳态...
为了能有效解决柔性基底体声波谐振器热稳定性不足及功率容量不足等问题,该文提出了一种新型的基于柔性基底的薄膜体声波谐振器。该谐振器的硅衬底上开设有一定数量的垂直上凸型结构,该结构既能有效抑制寄生模量,又能减小器件最高稳态温度和最大热应力。通过有限元分析软件Comsol Multiphics对谐振器进行仿真,结果表明,器件每增加一个上凸型结构,其最高稳态温度下降了4℃,最大热应力下降了1×104 GPa。与以往的柔性基底薄膜体声波谐振器相比,它具有更好的热传导能力和热应力稳定性。
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关键词
柔性基底
薄膜体声波谐振器
Comsol
大功率
热学分析
微机电系统(MEMS)
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职称材料
燃气管网抢修新技术应用
被引量:
1
3
作者
秦康宁
王宪
邹芳铭
《科技视界》
2012年第19期269-270,共2页
随着燃气事业的大发展,燃气事故也不断发生,小管径燃气管道堵漏技术和PE管打孔停气抢修技术的应用,改革了传统的燃气管网抢险抢修工作模式,突破技术难题,创新技术,确保安全,极大的促进了燃气事业更好、更快的发展。
关键词
抢修新技术
安全
应用
试用情况
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职称材料
瓶颈与策略:资讯类短视频的传播监管研究
被引量:
1
4
作者
秦康宁
《传播力研究》
2020年第19期98-99,共2页
短视频是在人们对信息效率的迫切需求下和移动互联网技术加持下产生出的一种新兴媒介形式。有了信息技术和互联网技术的加持,短视频就拥有了浑然天成的竞争优势,这也将大大改变媒体信息生产方式和受众信息获取方式。本文从资讯类短视频...
短视频是在人们对信息效率的迫切需求下和移动互联网技术加持下产生出的一种新兴媒介形式。有了信息技术和互联网技术的加持,短视频就拥有了浑然天成的竞争优势,这也将大大改变媒体信息生产方式和受众信息获取方式。本文从资讯类短视频的传播角度入手,通过分析新闻资讯类短视频的传播特征和发展现状,从中发现其问题并提出改善对策。
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关键词
资讯短视频
短视频传播
内容监管
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职称材料
电极设计对SMR电学性能的影响
5
作者
王诗元
张根
+4 位作者
彭春瑞
张小德
秦康宁
钟慧
石玉
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020年第3期336-339,共4页
为了满足射频器件的高频率、高功率和微小型化的需求,该文采用有限元分析软件COMSOL Multiphysics设计了一个谐振频率为3.455 GHz的牢固安装型谐振器(SMR)二维模型,研究了不同电极面积(200μm2、150μm2、100μm2、50μm2、25μm2)对谐...
为了满足射频器件的高频率、高功率和微小型化的需求,该文采用有限元分析软件COMSOL Multiphysics设计了一个谐振频率为3.455 GHz的牢固安装型谐振器(SMR)二维模型,研究了不同电极面积(200μm2、150μm2、100μm2、50μm2、25μm2)对谐振器横向寄生谐振的影响,并对比了上电极变化和上、下电极同时变化对器件横向寄生谐振程度的影响。结果表明,器件在谐振点(3.455 GHz)附近的横向寄生谐振随电极面积的减小而增加,当电极面积为25μm2时,器件的横向寄生谐振现象最显著;当电极面积的变化量一定时,同时改变上、下电极面积的横向寄生谐振大于只改变上电极面积产生的横向寄生谐振。
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关键词
牢固安装型谐振器
有限元
二维模型
横向寄生谐振
COMSOL
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职称材料
燃气管网安全事故的预防及安全防范
被引量:
1
6
作者
孙寿恩
孙新辉
秦康宁
《科技视界》
2012年第20期277-277,225,共2页
安全是企业的生命线,是企业发展壮大的前提和基础,对于燃气这个高危特殊行业,安全两个字表现的尤为重要。随着新能源的推广,使用燃气的用户和单位越来越多,随之而来的燃气事故也在不断增加。如何应对挑战,做好城市燃气管道的安全防护,...
安全是企业的生命线,是企业发展壮大的前提和基础,对于燃气这个高危特殊行业,安全两个字表现的尤为重要。随着新能源的推广,使用燃气的用户和单位越来越多,随之而来的燃气事故也在不断增加。如何应对挑战,做好城市燃气管道的安全防护,确保燃气管网安全运行是目前城市燃气安全工作的重中之重。下面根据青岛泰能燃气集团在燃气管网运行中的经验来浅析一下燃气管网的安全运行。
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关键词
事故原因
防范措施
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职称材料
题名
在非晶硅上制备角度可控缓坡的方法
1
作者
秦康宁
张根
杨泰
钟慧
蒋欣
杜波
马晋毅
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
中国电子科技集团公司第二十六研究所
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第5期670-673,共4页
基金
国家自然基金资助项目(61471086)
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开发基金课题项目(2014KZ001)
文摘
介绍了一种利用光的衍射原理制备角度可控缓坡微结构的方法。该方法在光刻步骤中通过调节掩膜板与基片之间的垂直距离来控制光刻胶图形边缘曝光量,光刻显影后得到剖面为正梯形的光刻胶图形,再经过干法刻蚀得到非晶硅的缓坡微结构。结果表明,制备的非晶硅缓坡结构角度(可小于30°)可控,制备方法简单,与半导体工艺兼容,可避免湿法刻蚀带来的过蚀及角度不均匀问题。
关键词
正胶
光刻
非晶硅
干法刻蚀
反应离子刻蚀
Keywords
positive photoresist
photolithography
amorphous silicon
dry etching
RIE
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
一种基于柔性基底的薄膜体声波谐振器
被引量:
1
2
作者
杨泰
张根
秦康宁
杜波
蒋欣
马晋毅
钟慧
石玉
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
中国电子科技集团公司第二十六研究所
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期901-904,共4页
基金
国家自然基金资助项目(61471086)
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开发基金课题项目(2014KZ001)
文摘
为了能有效解决柔性基底体声波谐振器热稳定性不足及功率容量不足等问题,该文提出了一种新型的基于柔性基底的薄膜体声波谐振器。该谐振器的硅衬底上开设有一定数量的垂直上凸型结构,该结构既能有效抑制寄生模量,又能减小器件最高稳态温度和最大热应力。通过有限元分析软件Comsol Multiphics对谐振器进行仿真,结果表明,器件每增加一个上凸型结构,其最高稳态温度下降了4℃,最大热应力下降了1×104 GPa。与以往的柔性基底薄膜体声波谐振器相比,它具有更好的热传导能力和热应力稳定性。
关键词
柔性基底
薄膜体声波谐振器
Comsol
大功率
热学分析
微机电系统(MEMS)
Keywords
flexible substrate
film bulk acoustic resonator
Comsol
high power
thermal analysis
MEMS
分类号
TN713.2 [电子电信—电路与系统]
TN38 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
燃气管网抢修新技术应用
被引量:
1
3
作者
秦康宁
王宪
邹芳铭
机构
青岛泰能燃气集团有限公司
出处
《科技视界》
2012年第19期269-270,共2页
文摘
随着燃气事业的大发展,燃气事故也不断发生,小管径燃气管道堵漏技术和PE管打孔停气抢修技术的应用,改革了传统的燃气管网抢险抢修工作模式,突破技术难题,创新技术,确保安全,极大的促进了燃气事业更好、更快的发展。
关键词
抢修新技术
安全
应用
试用情况
分类号
TU996.62 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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职称材料
题名
瓶颈与策略:资讯类短视频的传播监管研究
被引量:
1
4
作者
秦康宁
机构
北京印刷学院
出处
《传播力研究》
2020年第19期98-99,共2页
文摘
短视频是在人们对信息效率的迫切需求下和移动互联网技术加持下产生出的一种新兴媒介形式。有了信息技术和互联网技术的加持,短视频就拥有了浑然天成的竞争优势,这也将大大改变媒体信息生产方式和受众信息获取方式。本文从资讯类短视频的传播角度入手,通过分析新闻资讯类短视频的传播特征和发展现状,从中发现其问题并提出改善对策。
关键词
资讯短视频
短视频传播
内容监管
分类号
G206 [文化科学—传播学]
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职称材料
题名
电极设计对SMR电学性能的影响
5
作者
王诗元
张根
彭春瑞
张小德
秦康宁
钟慧
石玉
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020年第3期336-339,共4页
基金
装备预研重点实验室基金资助项目(6142105030604)。
文摘
为了满足射频器件的高频率、高功率和微小型化的需求,该文采用有限元分析软件COMSOL Multiphysics设计了一个谐振频率为3.455 GHz的牢固安装型谐振器(SMR)二维模型,研究了不同电极面积(200μm2、150μm2、100μm2、50μm2、25μm2)对谐振器横向寄生谐振的影响,并对比了上电极变化和上、下电极同时变化对器件横向寄生谐振程度的影响。结果表明,器件在谐振点(3.455 GHz)附近的横向寄生谐振随电极面积的减小而增加,当电极面积为25μm2时,器件的横向寄生谐振现象最显著;当电极面积的变化量一定时,同时改变上、下电极面积的横向寄生谐振大于只改变上电极面积产生的横向寄生谐振。
关键词
牢固安装型谐振器
有限元
二维模型
横向寄生谐振
COMSOL
Keywords
solidly mounted resonator
finite element
2D model
lateral parasitic resonance
COMSOL
分类号
TN64 [电子电信—电路与系统]
TN385 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
燃气管网安全事故的预防及安全防范
被引量:
1
6
作者
孙寿恩
孙新辉
秦康宁
机构
青岛泰能燃气集团
出处
《科技视界》
2012年第20期277-277,225,共2页
文摘
安全是企业的生命线,是企业发展壮大的前提和基础,对于燃气这个高危特殊行业,安全两个字表现的尤为重要。随着新能源的推广,使用燃气的用户和单位越来越多,随之而来的燃气事故也在不断增加。如何应对挑战,做好城市燃气管道的安全防护,确保燃气管网安全运行是目前城市燃气安全工作的重中之重。下面根据青岛泰能燃气集团在燃气管网运行中的经验来浅析一下燃气管网的安全运行。
关键词
事故原因
防范措施
分类号
TU996.62 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
在非晶硅上制备角度可控缓坡的方法
秦康宁
张根
杨泰
钟慧
蒋欣
杜波
马晋毅
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2018
0
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职称材料
2
一种基于柔性基底的薄膜体声波谐振器
杨泰
张根
秦康宁
杜波
蒋欣
马晋毅
钟慧
石玉
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2018
1
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职称材料
3
燃气管网抢修新技术应用
秦康宁
王宪
邹芳铭
《科技视界》
2012
1
下载PDF
职称材料
4
瓶颈与策略:资讯类短视频的传播监管研究
秦康宁
《传播力研究》
2020
1
下载PDF
职称材料
5
电极设计对SMR电学性能的影响
王诗元
张根
彭春瑞
张小德
秦康宁
钟慧
石玉
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020
0
下载PDF
职称材料
6
燃气管网安全事故的预防及安全防范
孙寿恩
孙新辉
秦康宁
《科技视界》
2012
1
下载PDF
职称材料
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