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304不锈钢化学机械抛光工艺参数研究 被引量:11
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作者 李庆 陈绍坤 +3 位作者 彭亚男 秦洪权 付素芳 苏建修 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2016年第5期21-25,共5页
为优化抛光效果、节省成本及提高效率,研究抛光压力、抛光液流量、抛光转速和抛光时间对304不锈钢材料去除率和表面粗糙度的影响。实验结果表明:在抛光压力为13.79kPa、抛光液流量为15mL/min、抛光时间为35min、抛光转速为60r/min的工... 为优化抛光效果、节省成本及提高效率,研究抛光压力、抛光液流量、抛光转速和抛光时间对304不锈钢材料去除率和表面粗糙度的影响。实验结果表明:在抛光压力为13.79kPa、抛光液流量为15mL/min、抛光时间为35min、抛光转速为60r/min的工艺条件下,304不锈钢去除速率达到226.56nm/min,表面粗糙度降至6nm,既节约了成本又保证了最好的表面粗糙度和较高的材料去除速率。 展开更多
关键词 化学机械抛光 304不锈钢片 材料去除率 表面粗糙度
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用碱性抛光液化学机械抛光304不锈钢片研究 被引量:5
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作者 陈佳鹏 陈绍坤 +2 位作者 李庆 秦洪权 苏建修 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2016年第2期6-9,23,共5页
为提高化学机械抛光的加工效果,我们研究了pH值、氧化剂种类和氧化剂含量对材料去除率和表面粗糙度的影响。结果表明:不同氧化剂的抛光液在各自的最佳pH值时达到最大的材料去除率,分别为181nm/min(H_2O_2抛光液,pH=9),177nm/min(Cr_2O_... 为提高化学机械抛光的加工效果,我们研究了pH值、氧化剂种类和氧化剂含量对材料去除率和表面粗糙度的影响。结果表明:不同氧化剂的抛光液在各自的最佳pH值时达到最大的材料去除率,分别为181nm/min(H_2O_2抛光液,pH=9),177nm/min(Cr_2O_3抛光液,pH=11),172nm/min(Na2Cr_2O_7抛光液,pH=11)和147nm/min(NaClO抛光液,pH=13);抛光液中氧化剂含量、pH值对抛光后不锈钢的表面粗糙度影响较小。其中,材料去除率较高的H_2O_2和Cr_2O_3可作为304不锈钢化学机械抛光碱性抛光液的氧化剂。 展开更多
关键词 304 不锈钢 碱性抛光液 PH 氧化剂 化学机械抛光 材料去除率
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化学机械抛光超薄SUS304不锈钢抛光液研究 被引量:3
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作者 秦洪权 王永胜 +3 位作者 李庆 陈佳鹏 刘振辉 苏建修 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2016年第6期25-28,34,共5页
柔性显示已成为下一代显示技术的研究热点,不锈钢材料是柔性大尺寸显示器衬底的主要材料之一。为优化不锈钢表面的超光滑无损伤加工,采用化学机械抛光(CMP)技术,通过正交试验,研究磨料粒度尺寸、分散剂、氧化剂、磨料质量、缓蚀剂用量... 柔性显示已成为下一代显示技术的研究热点,不锈钢材料是柔性大尺寸显示器衬底的主要材料之一。为优化不锈钢表面的超光滑无损伤加工,采用化学机械抛光(CMP)技术,通过正交试验,研究磨料粒度尺寸、分散剂、氧化剂、磨料质量、缓蚀剂用量等因素对抛光后材料去除率和表面粗糙度的影响。试验结果表明:磨料粒度尺寸对表面粗糙度的影响最大,其次为双氧水、丙三醇、草酸、磨料质量;影响材料去除率的因素排列是磨料粒度尺寸、磨料含量、丙三醇含量、草酸含量、双氧水含量。 展开更多
关键词 304不锈钢片 化学机械抛光 抛光液 材料去除率 表面粗糙度
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基于乡村振兴视角西南丘陵山区高标准基本农田建设探析 被引量:1
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作者 秦洪权 《可持续发展》 2023年第4期1061-1065,共5页
为探讨西南丘陵山区高标准基本农田项目是如何助力实现乡村振兴,在梳理乡村振兴内涵及存在困难的基础上,分析了当前高标准基本农田建设现状及存在的问题。近二十年高标准基本农田建设改善了研究区落后的农业条件,但项目建设仍存在对土... 为探讨西南丘陵山区高标准基本农田项目是如何助力实现乡村振兴,在梳理乡村振兴内涵及存在困难的基础上,分析了当前高标准基本农田建设现状及存在的问题。近二十年高标准基本农田建设改善了研究区落后的农业条件,但项目建设仍存在对土壤改良及培肥工作重视不够等问题。提出注重土壤改良强化农业水土工程建设措施、因地制宜选择合适研究区实际的产业发展农业、引导群众形成良好的耕种习惯、进一步完善实现筑巢引凤功效吸引外来资本投入发展农业四条措施,实现助推乡村振兴目的。高标准基本农田建设从直接和间接两方面助推乡村振兴战略实施,是一项惠民利民的工程。 展开更多
关键词 乡村振兴 基础设施 高标准基本农田 三农 产业振兴
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