基于Fabry-Perot干涉仪的微型光纤风速仪

提出了一种由硅片和单模光纤(SMF)端面组成的法布里—珀罗(Fabry-Perot)干涉仪型风速计。风速计利用硅优越的热学和光学特性,当红外信号通过硅Fabry-Perot干涉仪时,可以通过红色二极管激光器注入的光束对硅Fabry-Perot干涉仪进行加热,而不会受到加热光的任何干扰。当传感器置于较强气流(风)中时,硅片热损失的增加,将会引起Fabry-Perot干涉仪光程的减小,从而导致输出光谱蓝移,风速越高,波长偏移越大。通过调节加热功率,可以改变风速计的响应范围和灵敏度。实验结果表明:在风速为4 m/s时,观察到波长偏移为-0.574 nm。当施加更大的加热功率时,预期会有更好的灵敏度。该传感器具有结构简单、成本低、响应快等特点。