温度对氮离子注入的Cr12MoV表面性能影响

利用等离子源离子注入 (PSII)技术对冷作模具钢材料Crl2MoV进行不同温度范围的处理 ,研究了温度在离子注入中对材料表面改性的影响。首先 ,在参数 (如能量、剂量等 )相同条件下 ,改变脉冲频率 ,即相对应地改变样品的表面温度对不同样品进行试验对比 ,分别测试其表面温度为 :2 5 0℃、31 2℃、36 5℃、41 2℃、471℃。然后在 31 2℃的温度条件下 ,分别做了不同剂量的试验。用X射线衍射分析 (XRD)表面结构、晶相变化 ;用俄歇电子能谱 (AES)分析注入氮的浓度分布 ;用维氏显微硬度计测定其显微硬度 ;用针一盘磨损机测试其耐磨性能。结果表明 ,对Cr1 2MoV材料PSII表面温度效应明显提高试样的表面显微硬度及耐磨性能 ,同时根据实验结果得出了该种材料的等离子体源离子注入的最佳工艺参数。