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表面覆膜SnO_2半导体氢敏元件 被引量:3
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作者 穆宝贵 黎丽琳 《传感器技术》 CSCD 1991年第1期31-34,共4页
在制备烧结体SnO_2半导体气敏元件的基础上,对元件表面进行了覆膜处理,得到具有高选择性的氢气敏感元件。
关键词 SNO2 半导体 氢敏器件 气敏器件
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