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真空镀膜中膜厚均匀性的研究 被引量:4
1
作者 穆长生 张辉军 温殿忠 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第5期8-10,共3页
在半导体器件生产过程中 ,器件的引线大都是由蒸镀的方法来解决的。蒸镀不仅能制备引线 ,同时也是传感器件敏感膜制作的主要手段。但蒸镀中常常发现膜厚度不均匀 ,影响膜厚的因素很多 ,实际生产中 ,陪片由于与其它正片的几何位置不同 ,... 在半导体器件生产过程中 ,器件的引线大都是由蒸镀的方法来解决的。蒸镀不仅能制备引线 ,同时也是传感器件敏感膜制作的主要手段。但蒸镀中常常发现膜厚度不均匀 ,影响膜厚的因素很多 ,实际生产中 ,陪片由于与其它正片的几何位置不同 ,因此膜厚不同。其差别可达 1%~ 2 0 %,但在大量的文献分析及应用中被忽略。针对两种常见的蒸发源 ,通过理论计算与实验给出了陪片、基片与蒸发源的最佳位置 ,使误差可控制在 1%,甚至 0 .1%。 展开更多
关键词 真空镀膜 蒸发源位形 膜厚均匀性
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利用PTC热敏电阻热耗散转速仪的研制 被引量:1
2
作者 穆长生 曲伟 +1 位作者 张辉军 关辉 《哈尔滨理工大学学报》 CAS 2002年第4期93-95,共3页
根据PTC电阻-温度特性,研制了热耗散转速仪,并阐述了热耗散转速仪的结构和原理.实验结果表明,该转速仪可以测量流体的流速,当流速增加时,通过PTC电阻的电流按指数规律增加.在流体的测量中有广泛的应用.
关键词 热敏电阻 热耗散转速仪 研制 PTC 变频调速 结构 原理 流体 流速测量
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电磁式井下液体流递传感器研制
3
作者 穆长生 王宏 +3 位作者 温殿忠 赵晓峰 刘学明 皮英光 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 2002年第1期73-76,共4页
阐述了电磁式井下液体流速传感器的设计原理、结构和研制样品的实验结果。研制的电磁式井下液体流速传感器具有体积小、线性好、高稳定和低噪声的优点,可广泛应用于油田井下液体流速和工业管道中液体流速的测量。
关键词 电磁感应 电磁式井下液体流速传感器 流速测量 结构设计 测量原理 油田测速
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应变式钢杯压力传感器的多层介质膜研究
4
作者 穆长生 张辉军 温殿忠 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 2002年第2期70-72,共3页
在应变传感器的使用过程中,通常是将应变片用胶粘到待测的传感元件上,这种结构导致被测的应变片产生温度漂移。同时,胶膜引起的蠕变和滞后,也限制了传感器的准确度和长期稳定性。开发良好的铂薄膜电阻应变式钢杯压力传感器的研究具有重... 在应变传感器的使用过程中,通常是将应变片用胶粘到待测的传感元件上,这种结构导致被测的应变片产生温度漂移。同时,胶膜引起的蠕变和滞后,也限制了传感器的准确度和长期稳定性。开发良好的铂薄膜电阻应变式钢杯压力传感器的研究具有重要意义。通过多层介质膜解决金属薄膜衬底和铂薄膜电阻间的隔离层问题,提高了应变式钢杯压力传感器的力学特性和长期稳定性。 展开更多
关键词 多层薄膜 应变片 伪扩散 钢坏
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采用MEMS技术制造硅磁敏三极管 被引量:7
5
作者 温殿忠 穆长生 赵晓峰 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第5期49-52,共4页
阐述了采用MEMS技术与反外延技术相结合在硅片表面制造具有矩形板状立体结构的硅磁敏三极管的设计原理、结构和工艺。结果表明 ,设计的硅磁敏三极管制造技术不但能与IC工艺相兼容 ,而且便于集成化 ,将有广泛的应用领域。
关键词 MEMS技术 反外延技术 硅磁敏三极管
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硅PN结基底TiO_2氧传感器的特性研究 被引量:2
6
作者 张辉军 穆长生 王璐 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z2期1625-1626,共2页
采用薄膜工艺及MEMS工艺研制了一种以硅PN结为基底材料的TiO2氧传感器,阐述了该传感器的工作原理、工艺流程及射频磁控溅射制备银电极及TiO2薄膜的方法。利用XRD、SEM分析了薄膜的表面形貌及晶粒结构。基于该结构的氧传感器具有良好的... 采用薄膜工艺及MEMS工艺研制了一种以硅PN结为基底材料的TiO2氧传感器,阐述了该传感器的工作原理、工艺流程及射频磁控溅射制备银电极及TiO2薄膜的方法。利用XRD、SEM分析了薄膜的表面形貌及晶粒结构。基于该结构的氧传感器具有良好的感特性及响应特性,具有响应时间短、信号线性度好、灵敏度高等优点。 展开更多
关键词 薄膜 PN结 射频磁控溅射 氧传感器 金红石相
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PN结型硅基TiO_2氧传感器的特性分析
7
作者 张辉军 穆长生 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第9期26-28,共3页
采用薄膜技术研制了一种以硅PN结结构为基底材料的TiO2氧传感器,阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程及其特性。给出了磁控溅射工艺制备银电极及TiO2薄膜的方法,利用X射线衍射(XRD)标定了TiO2薄膜的金红石相晶体结构,通过扫... 采用薄膜技术研制了一种以硅PN结结构为基底材料的TiO2氧传感器,阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程及其特性。给出了磁控溅射工艺制备银电极及TiO2薄膜的方法,利用X射线衍射(XRD)标定了TiO2薄膜的金红石相晶体结构,通过扫描电镜(SEM)分析了薄膜的表面形貌及晶粒结构,讨论了TiO2的氧敏感机理,测试薄膜的敏感特性及响应特性。实验结果表明:硅PN结基底TiO2氧传感器具有工作温度低、低功耗、体积小、线性化好的优点。 展开更多
关键词 氧传感器 射频磁控溅射 PN结 金红石相
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PTC电阻热耗实验仪研制
8
作者 温殿忠 穆长生 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 1997年第4期60-63,共4页
本文阐述了PTC电阻热耗散实险仪的结构和原理。实验结果表明,该实验仪可以调控PTC电阻在机油中的运动速度,当PTC电阻速度增加时,通过PTC电阻的电流则按指数规律增加。
关键词 PTC电阻 热耗散实验仪 热敏电阻
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秦皇岛热电厂工程厂址及总平面述评
9
作者 穆长生 《中国电力》 CSCD 1993年第11期49-52,17,共5页
本文以秦皇岛热电厂工程设计工作内容为依据,从建厂条件的几个方面扼要分析论述了该工程厂址选择的合理性;从厂区总平面布置的几个特点论述了厂区总体布局应如何生动灵活结合厂址外部条件及工艺流程要求进行总布置,以充分体现现代化大... 本文以秦皇岛热电厂工程设计工作内容为依据,从建厂条件的几个方面扼要分析论述了该工程厂址选择的合理性;从厂区总平面布置的几个特点论述了厂区总体布局应如何生动灵活结合厂址外部条件及工艺流程要求进行总布置,以充分体现现代化大型火力发电厂的容貌.由此叙述了几点体会,阐述厂址选择的合理性和厂区总布置灵活的设计手法是电厂设计中总图专业的重要环节. 展开更多
关键词 厂址 总平面设计 发电厂
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山区电厂防排洪设施浅谈
10
作者 穆长生 《电力勘测设计》 1994年第1期51-53,共3页
本文针对山区丘陵地区洪水特点、防洪排水布置原则、注意事项及布置形式做了一般浅谈。
关键词 总平面 暴雨洪水 汇水面积 截洪沟 排洪沟
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横纵有序微纹理设计的干气密封T型槽微纹理变量分析
11
作者 王竞墨 吴仁德 +3 位作者 穆长生 崔文姝 丁赫艺 孙宏伟 《辽宁石油化工大学学报》 CAS 2024年第3期70-79,共10页
为探究有序微纹理设计对干气密封T型槽动压效果的影响,基于气膜润滑原理,采用有限差分法,研究了微纹理排列间距、微纹理长度、T型槽基底长宽增幅、微纹理梯度倾斜角度等有序微纹理变量对密封参数的影响,并对四种微纹理的设计变量进行了... 为探究有序微纹理设计对干气密封T型槽动压效果的影响,基于气膜润滑原理,采用有限差分法,研究了微纹理排列间距、微纹理长度、T型槽基底长宽增幅、微纹理梯度倾斜角度等有序微纹理变量对密封参数的影响,并对四种微纹理的设计变量进行了对比。结果表明,T型槽的微纹理变量与T型槽的结构参数一样能改变槽的动压效应,但不改变干气密封槽型的动力学规律;微纹理变量对干气密封T型槽开启力的影响按微纹理梯度倾斜角度>微纹理排列间距>微纹理长宽>T型槽基底长宽增幅的顺序减小;对泄漏量的影响按微纹理长宽>微纹理排列间距>T型槽基底长宽增幅>微纹理梯度倾斜角度的顺序减小。研究结果对双向旋转式端面气膜密封的优化和设计具有一定的借鉴作用。 展开更多
关键词 干气密封 双向旋转式T型槽 有限差分法 有序微纹理设计 密封性能
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大港电厂工程厂址及总平面简述
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作者 穆长生 《电力建设》 北大核心 1994年第10期11-13,共3页
大港电厂工程厂址及总平面简述华北电力设计院穆长生天津大港发电厂地处天津市大港区上古林乡,独流减河东风大桥北端,津歧公路西侧,距天津市中心约40km,距渤海海岸约7km。电厂一期工程安装2X329.7MW燃油机组,19... 大港电厂工程厂址及总平面简述华北电力设计院穆长生天津大港发电厂地处天津市大港区上古林乡,独流减河东风大桥北端,津歧公路西侧,距天津市中心约40km,距渤海海岸约7km。电厂一期工程安装2X329.7MW燃油机组,1978年底及1979年初相继投产;二... 展开更多
关键词 发电厂 厂址 总平面布置 电力工程
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鸭绿江边“宝石花”——丹东销售“王萍加油站”教育展室巡礼
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作者 石绍全 穆长生 《石油政工研究》 2013年第2期80-81,共2页
在中国石油销售战线10余万员工的队伍中,有这么一个人,平凡如花,在近20年的工作历程中,中国石油"十大杰出青年"、中国石油"特等劳动模范"、中国石油"十大金花"、"全国劳动模范"、党的十七大、十八大代表等一个个骄人称号荣归其... 在中国石油销售战线10余万员工的队伍中,有这么一个人,平凡如花,在近20年的工作历程中,中国石油"十大杰出青年"、中国石油"特等劳动模范"、中国石油"十大金花"、"全国劳动模范"、党的十七大、十八大代表等一个个骄人称号荣归其身。她提出的"热情一点儿、周到一点儿、耐心一点儿"服务理念,"加油员跑动服务法","加油站经理走动管理法","六个十营销工作法"……成了整个中国石油销售系统独特有效的服务创新法,有效提升了中国石油加油站经营管理水平。她就是中国石油销售战线上的一面旗帜, 展开更多
关键词 石油销售系统 加油站 鸭绿江 十大杰出青年 全国劳动模范 中国石油 教育 王萍
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强基固本 夯实基础 促进发展——集团公司首次以班组长名字命名十个班组
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作者 宋学功 南勇 +4 位作者 陈随义 刘建平 刘海 穆长生 张立岩 《石油政工研究》 2010年第6期46-47,共2页
10月14日在大庆石化召开的集团公司工会工作会议暨"五型"班组建设大庆石化现场经验交流会上,集团公司以李天照、王海、束滨霞、刘玲玲、曹树祥、李树林、丛强、赵林源、王萍、尚丽群10人的名字命名10个班组,并为他们授牌。这是首次以... 10月14日在大庆石化召开的集团公司工会工作会议暨"五型"班组建设大庆石化现场经验交流会上,集团公司以李天照、王海、束滨霞、刘玲玲、曹树祥、李树林、丛强、赵林源、王萍、尚丽群10人的名字命名10个班组,并为他们授牌。这是首次以集团公司名义用班组长名字命名的10个班组。 展开更多
关键词 集团公司 班组长 现场经验交流会 工会工作会 班组建设 李树林 石化 大庆
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认真学习 广泛宣传 全面贯彻 务求实效——集团公司各企事业单位认真学习贯彻党的十七大精神掠影
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作者 赵永安 姜洋 +8 位作者 杨方武 张常忠 穆长生 王远来 徐志武 吴川 朱冬梅 唐骏华 白柱石 《石油政工研究》 2007年第6期40-41,共2页
党的十七大胜利闭幕后,集团公司百万石油职工群情振奋,从机关到边远井站,从国内各单位到海外各施工作业队伍,迅速掀起了学习贯彻落实十七大精神的热潮。
关键词 企事业单位 集团公司 学习 务求实效 精神 施工作业 职工 石油
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