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激光诱发前向转移技术在电子制造领域的应用
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作者 刘威 王春青 +2 位作者 田艳红 窦广斌 叶交托 《电子工艺技术》 2013年第2期70-72,78,共4页
激光诱发前向转移是基于激光的诱导作用实现微量物质转移的技术。转移过程中激光与薄膜材料发生相互作用,使薄膜从源透明基板上剥离,转移到目标基板上,发生转移的薄膜最终在目标基板上发生沉积。作为微细加工的一种手段,激光诱发前向转... 激光诱发前向转移是基于激光的诱导作用实现微量物质转移的技术。转移过程中激光与薄膜材料发生相互作用,使薄膜从源透明基板上剥离,转移到目标基板上,发生转移的薄膜最终在目标基板上发生沉积。作为微细加工的一种手段,激光诱发前向转移技术具备制作微小结构的能力,能实现金属、有机物、半导体和生物材料等多种材料的转移和图形制作,在电子制造领域有着广阔的应用前景。 展开更多
关键词 激光诱发转移技术 微细加工 薄膜 电子制造
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