双振子三腔体压电泵的结构设计与机理

从提高压电振子的工作效率出发,结合多腔体压电微泵和有阀无阀压电微泵的优点,采用薄膜被动阀片与"Ⅴ"形流道相结合的阀片布置方式,设计了一种结构新颖的双振子三腔体压电微泵。保证了微泵结构的紧凑性,同时提高了压电振子的工作效率。分析了该压电微泵的结构特点和工作机理,从理论上计算了该压电微泵的理论输出特性。