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超大规模集成电路气体净化工艺
1
作者 章光护 《洁净与空调技术》 1998年第4期2-9,共8页
介绍超大规模集成电路生产所使用的主要气体(氢气、氮气、氧气和氩气)
关键词 超大规模 集成电路 气体净化 工艺 装置
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