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基于图像分析的CD-SEM显微视觉清晰度检测技术研究
1
作者
姜国伟
田宝
章屠灵
《集成电路应用》
2019年第8期52-55,共4页
在集成电路制造业,对CD-SEM显微图像进行精确地清晰度检测是对关键层图案的特征尺寸CD(Critical Dimension)量测的基础。通过与目前常用的、具有代表性的多种清晰度评价方法进行实验验证分析和对比,提出一种基于小波变换和规则集合相结...
在集成电路制造业,对CD-SEM显微图像进行精确地清晰度检测是对关键层图案的特征尺寸CD(Critical Dimension)量测的基础。通过与目前常用的、具有代表性的多种清晰度评价方法进行实验验证分析和对比,提出一种基于小波变换和规则集合相结合的CD-SEM图像清晰度检测算法,首先利用小波变换分层提取图像的边缘特征,然后按照规则集合对边缘点进行不同边缘类型划分,最后计算图像模糊前后不同类型边缘点占总边缘点的比例来评价原始图像的清晰度。经过实验模拟验证和现场生产实践检验,该算法具有较高的计算精度和较强的鲁棒性、实时性和场景适应性。
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关键词
CD-SEM显微图像
图像处理
小波变换
清晰度检测
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题名
基于图像分析的CD-SEM显微视觉清晰度检测技术研究
1
作者
姜国伟
田宝
章屠灵
机构
上海华虹宏力半导体制造有限公司
出处
《集成电路应用》
2019年第8期52-55,共4页
基金
上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金(1500223)
文摘
在集成电路制造业,对CD-SEM显微图像进行精确地清晰度检测是对关键层图案的特征尺寸CD(Critical Dimension)量测的基础。通过与目前常用的、具有代表性的多种清晰度评价方法进行实验验证分析和对比,提出一种基于小波变换和规则集合相结合的CD-SEM图像清晰度检测算法,首先利用小波变换分层提取图像的边缘特征,然后按照规则集合对边缘点进行不同边缘类型划分,最后计算图像模糊前后不同类型边缘点占总边缘点的比例来评价原始图像的清晰度。经过实验模拟验证和现场生产实践检验,该算法具有较高的计算精度和较强的鲁棒性、实时性和场景适应性。
关键词
CD-SEM显微图像
图像处理
小波变换
清晰度检测
Keywords
CD-SEM microscopic image
image processing
wavelet transform
sharpness detection
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
TP391.41 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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作者
出处
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1
基于图像分析的CD-SEM显微视觉清晰度检测技术研究
姜国伟
田宝
章屠灵
《集成电路应用》
2019
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