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利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究
被引量:
1
1
作者
王淼
李振华
+1 位作者
竹川仁士
齐藤弥八
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期888-890,共3页
利用微波等离子体增强化学气相沉积法在氢气和甲烷的混合气体中定向生长纳米碳管 .经扫描电子显微镜观察与分析 ,发现纳米碳管在与基板垂直的方向上整齐排列 。
关键词
纳米碳管
微波等离子体增强化学气相沉积法
定向生长
扫描电子显微镜
薄膜生长
原文传递
题名
利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究
被引量:
1
1
作者
王淼
李振华
竹川仁士
齐藤弥八
机构
浙江大学物理系
浙江大学力学系
日本三重大学工学部
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期888-890,共3页
基金
国家自然科学基金 (批准号 :60 2 710 0 9)
浙江省自然科学基金 (批准号 :5 0 110 9)资助的课题~~
文摘
利用微波等离子体增强化学气相沉积法在氢气和甲烷的混合气体中定向生长纳米碳管 .经扫描电子显微镜观察与分析 ,发现纳米碳管在与基板垂直的方向上整齐排列 。
关键词
纳米碳管
微波等离子体增强化学气相沉积法
定向生长
扫描电子显微镜
薄膜生长
Keywords
microwave plasma, carbon nanotubes
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究
王淼
李振华
竹川仁士
齐藤弥八
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
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