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利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究 被引量:1
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作者 王淼 李振华 +1 位作者 竹川仁士 齐藤弥八 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期888-890,共3页
利用微波等离子体增强化学气相沉积法在氢气和甲烷的混合气体中定向生长纳米碳管 .经扫描电子显微镜观察与分析 ,发现纳米碳管在与基板垂直的方向上整齐排列 。
关键词 纳米碳管 微波等离子体增强化学气相沉积法 定向生长 扫描电子显微镜 薄膜生长
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