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基于单端口多模态微悬臂梁的谐振式大量程智能气体传感器(英文)
1
作者
赵嘉昊
李鹏
+2 位作者
管镠
李翔宇
尤政
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2013年第2期164-168,共5页
基于悬臂梁的谐振气体传感器可以通过测量悬臂梁谐振频率的偏移而检测相应气体分子.本文介绍了一种使用自激励自检测(SAD)电路驱动单端口多模态微悬臂梁的智能谐振式气体传感器.这种激励模式简化了悬臂梁结构和微加工过程.另外,还可以...
基于悬臂梁的谐振气体传感器可以通过测量悬臂梁谐振频率的偏移而检测相应气体分子.本文介绍了一种使用自激励自检测(SAD)电路驱动单端口多模态微悬臂梁的智能谐振式气体传感器.这种激励模式简化了悬臂梁结构和微加工过程.另外,还可以通过便捷地改变悬臂梁谐振模态实现大量程的气体浓度检测.通过仿真分析了不同模态下悬臂梁的模型和敏感度.通过测量这种基于单端口多模态悬臂梁的气体传感器对于气体的响应情况,展示了这种多模态SAD系统以及其改变模态增加测量量程的功能.
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关键词
气体传感器
单端口
悬臂梁
多模态
大量程
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职称材料
题名
基于单端口多模态微悬臂梁的谐振式大量程智能气体传感器(英文)
1
作者
赵嘉昊
李鹏
管镠
李翔宇
尤政
机构
精密测试技术及仪器国家重点实验室(清华大学)
清华大学电子工程系
出处
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2013年第2期164-168,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51205223)
国家重点实验室基金资助项目(50605040)
中国博士后科学基金资助项目(20070420038)
文摘
基于悬臂梁的谐振气体传感器可以通过测量悬臂梁谐振频率的偏移而检测相应气体分子.本文介绍了一种使用自激励自检测(SAD)电路驱动单端口多模态微悬臂梁的智能谐振式气体传感器.这种激励模式简化了悬臂梁结构和微加工过程.另外,还可以通过便捷地改变悬臂梁谐振模态实现大量程的气体浓度检测.通过仿真分析了不同模态下悬臂梁的模型和敏感度.通过测量这种基于单端口多模态悬臂梁的气体传感器对于气体的响应情况,展示了这种多模态SAD系统以及其改变模态增加测量量程的功能.
关键词
气体传感器
单端口
悬臂梁
多模态
大量程
Keywords
gas sensor
single-port
cantilever
multi-mode
wide range
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于单端口多模态微悬臂梁的谐振式大量程智能气体传感器(英文)
赵嘉昊
李鹏
管镠
李翔宇
尤政
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2013
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