光谱范围从 365 至 12000nm 的高精度光电自动折射仪

介绍了由作者研制的光谱范围从３６５至１２０００ｎｍ的高精度光电自动折射仪的测量原理、主要误差源和仪器组成。用该仪器对包括红外材料锗在内的多种样品进行了测量，在小于２６００ｎｍ和大于２６００ｎｍ的波长范围内分别获得了优于±３×１０－６和±５×１０－５的折射率测量精度。

锗的红外折射率精密测量

利用所研制的ＫＧＺ－Ⅱ型高精度光电折射仪，在５～１０．６μｍ的光谱范围内，测量了由北京有色金属研究总院研制的锗的折射率，并与红外色散公式计算的结果进行了比较，分析了影响测量准确度的各项主要因素，给出了具有±３×１０－４准确度的测量结果。

大规模集成电路刻蚀过程和终点的在线监测──等离子发射光谱法

文章叙述了大规模集成电路（ＬＳＩ）等离子和反应离子刻蚀原理及在线监测刻蚀过程的基本方法。详述了用等离子发射光谱法进行ＬＳＩ离子刻蚀过程监测的具体实施和实验结果，得到了８０Ａ的动态监测精度和０．３ｃｍ２的最小可监测面积。最后文章还讨论了影响监测精度的因素。

从噪声中提取弱光信号的采样跟踪滤波器

作者用采样滤波器制成了用于弱光信号检测的高Ｑ值自跟踪采样滤波器。介绍了它的数学基础和实验结果，以及工程中一些值得注意的实际问题。

等离子刻蚀过程中的微弱信号提取与终点监测

在用等离子发射光谱技术监测大规模集成电路等离子刻蚀过程及科点时，为有效地抑制本底光对监测结果的影响，作者采用了双波长法和具有采样跟踪滤波器的锁相技术，从强光背景中提取了反映等离子刻蚀过程的微弱等离子谱信号。

等离子与反应离子刻蚀终点的在线监测——光学反射法

叙述了用光学反射法在线监测ＬＳＩ等离子及反应离子刻蚀过程和终点的监测原理与具体实施。所设计的仪器获得了优于８０的动态监测精度及小于０．３ｃｍ２的最小监测面积。比较了用光学反射法和等离子发射光谱法得到的监测结果，指出了影响光学反射法监测精度的因素，提出了切实可行的解决办法。

锁相放大技术在光电折射仪中的应用

随着现代科学技术的发展,在诸如天文学、高分辨光谱学、遥感、生物医学及半导体工业等若干领域中,无一不和高精度光学设备息息相关,而这些仪器的设计在很大程度上都依赖于光学材料本身的一个重要参数——折射率值的精确程度。为此,我们研制了一台微机化的光电折射仪。其光谱范围从200nm到12000nm,折射率测量精度在波长小于3000nm时优于±3×10^(-3),而在波长大于3000nm到12000nm时优于±5×15^(-5)。

计算机控制的高精度光电折射仪

介绍了在该仪器上测量折射率值小于1.76和大于1.76的两种测量方法,给出了以计算机为核心的宽光谱高精度折射率全自动测量仪的基本组成、主要误差源和测控软件的一级数控流图,用该仪器对包括红外材料锗在内的多种样品进行了测量并给出了部分测量结果,结果表明:在365.0nm至2600nm和2600nm至10600nm的波长范围内分别获得了优于±3×1-0 6和±2×1-0 4的测量精度。

大规模集成电路离子刻蚀过程监测中的锁相技术

本文叙述了LSI和VLSI离子刻蚀工艺过程及终点监测的重要性以及发射光谱和激光反射干涉法的终点监测原理,锁相放大技术在PIE和RIE工艺过程监测中的应用。给出了整机电子学框图和该机用于实际生产线所监测的结果。

低噪声应力测量头

各种机械构件的残余应力其对疲劳强度，抗应力腐蚀能力，尺寸稳定性和使用寿命等有着直接影响，为寻求延长构件使用寿命的途径并改善其使用性能，采用非接触Ｘ射线光电测量法测定构件的残余应力是十分重要的。针对基于Ｘ射线衍射法的应力测量仪的需要，我们研制了低噪声衍射测量装置，并已用于生产实践，该装置由端窗Ｘ射线正比计数管和快速低噪声前置放大鉴别器组成。

MOMS—02对地球科学评价和未来状况

模块式光电多光谱立体扫描器MOMS-02在技术上是使用推扫原理并在1983年和1984年成功地用在STS-7和STS-11/41-B航天飞机的飞行任务中的第一个空间仪器MOMS-01的继续。装在第二个德国空间实验室任务D2由航天飞机STS-55发射的MOMS-02于1993年4月26日至5月6日之间采集的数据在地球科学领域里具有很好的使用价值。高空间分辨率、多光谱和体视画面数据的同对采集使得主题和地貌信息的实际组合成为可能,因此可借助遥感技术来考虑改善地球表面的动态变化的校验和判断。

MOMS—02传感器立体数据与多光谱数据组合的体视评价

模块式光电多光谱扫描仪已成功地用于1993年4月至5月德国空间实验室D2飞行任务上,在纬度为±28.5°的范围内,对面积近七百万平方公里的地段成象。该相机系统的突出特点是具有三个观测方向的沿着轨道的立体成像。有两种主要立体成像模式,两者都使用了三种不同的光学系统在三个方向上进行立体成像。

介绍一种实时数字式机载CCD相机系统

遥感技术在农业和环境监测方面的应用,要求多光谱遥感成像具有较高的瞬时频率和较高的空间分辨率以满足实时监测的需要.一般由卫星传感器所获得的多光谱图像大多不能满足实时的要求,如在农业方面要监测作物生长情况以及病虫害情况等,在环境监测方面和农业监测一样都需要实时进行.而像陆地卫星主题绘图仪(TM)和SPOT高分辨率可见光(HRV)传感系统等所获得的数据其重复频率较低,如陆地卫星主题绘图仪的重复频率低达16天,同时从图像数据采集到将信息发给用户这之间经过的时间较长,因而这些卫星传感器不适用于实时监测.而使用机载实时电视摄像系统便可很好地解决上述问题.