变喷口微型固体火箭发动机设计加工与试验

提出了一种基于微机电系统(MEMS)的全新横向加工毫米级可变喷口角度微型固体火箭发动机的设计、加工和点火试验。微型火箭发动机是理想的高精度、高推重比的动力系统。在微型航天器的姿态调节、速度控制、重力补偿及轨道变更方面都有很大的作用。该新型发动机由本征硅和BF33玻璃阳极键合而成,主体由燃烧室、尾喷管和通气槽等结构组成。主体结构利用MEMS体加工技术中干法刻蚀工艺横向加工于本征硅片表面上,实现尾部喷管角度的可调节,优化了推力的作用效果,简化了加工工艺流程,增加了加工精度。发动机燃料采用HTPB复合燃料。文中详细介绍了横向加工工艺的流程、燃料的制备和填充技术,详述了发动机的点火试验。