磁控溅射参数对钛酸锶钡薄膜生长及介电性能的影响

在Pt/Ti/SiO2/Si(110)衬底上利用射频磁控溅射法制备了Ba1-xSrxTiO3(BST)薄膜.基于薄膜的形核理论,研究了成膜时间、衬底温度、溅射功率、溅射气压、氧氩比、退火热处理等参数对薄膜的表面形貌和介电性能的影响.结果表明:在其他溅射参数一定的条件下,薄膜的厚度随溅射时间成指数关系增长;在退火温度600℃下热处理20min薄膜完全晶化;调节衬底温度、溅射功率、溅射气压等参数有助于制备出表面致密、晶粒大小均匀、具有高介电常数和低损耗的BST薄膜.

高中物理学科核心素养之社会责任在教学中的培养——我校物理校本课程开展

物理学科核心素养旨在培养学生终身学习能力和社会发展所需要的科学知识、关键能力、科学态度、社会责任等,是学生体现出的带有物理特征的品质。而其中的社会责任感是对核心素养的其他方面的综合体现与升华。在教学活动与生活中以学生的身心健康为前提,深入联系社会生活实践,通过对校本课程内容的精心设置培养学生的物质意识、科学思维、探究能力、实践能力、爱国热情与奉献精神等,以达到提升学生社会责任感的目的。