强开采条件巷道变形破坏与能量转移分析

为进一步研究强开采条件下巷道变形破坏与能量转移特征,采用了RFPA计算软件,对巷道变形破坏及能量传递特征进行分析,研究开采过程中巷道变形破坏规律。研究结果表明,巷道顶部及两端应力集中现象较严重,且随着开采的不断推进,应力值不断增加,在顶部中间部位和两端处易产生裂缝并不断发育,甚至发生局部破坏;从能量释放角度分析可知,随着开挖的推进,能量积聚发生在裂缝发生和扩展区域,也是应力集中部位,当岩体内能量达到材料破坏强度时,材料将发生破坏,表现为拉应力作用下的破坏。数值计算结果可为开采中巷道安全和稳定提供可靠依据。

洪水入渗尾矿坝边坡渗流稳定性数值分析

针对洪水位升高造成尾矿坝边坡失稳破坏的问题,建立洪水入渗尾矿坝流-固耦合方程,利用FLAC3D有限差分计算软件,对洪水位升高后入渗尾矿坝边坡稳定进行数值分析,研究洪水入渗后尾矿坝边坡饱和度、孔隙水压力、边坡应力和位移变化规律,得到了洪水位升高入渗对边坡稳定性的影响,并进行坝体安全性指标分析,计算得到此坝体边坡安全系数为1.66,进而确定潜在滑移面位置。研究结果可为尾矿坝边坡稳定提供有利参考。

MES系统及其在半导体制造中的应用

本文叙述了MES 系统的定义,半导体制造前工序中的MES 系统的特点,各组成模块的功能,系统的软硬件要求等。并指出了其在半导体制造中的应用。

早期热壁卧式LPSIN工艺的优化改进

文章针对早期热壁卧式LPSIN系统所遇到的颗粒问题,详细阐述了颗粒问题产生的原因,包括DCS气体、工艺压力、反应生成物。针对这些颗粒成因提出了相应有效的优化方法,通过实践每一种优化方法都可以降低LPSIN工艺的颗粒,综合所有优化方法有效地降低了LPSIN工艺的颗粒,极大地延长了设备PM的间隔,提高了LPSIN工艺的质量,大幅提高了设备的流片产能,在不对设备硬件做大的改动的情况下使设备的能力得到了大的改进。

栅氧击穿机理研究

栅氧击穿不仅和栅氧质量相关,而且受前工序的影响很大。本文介绍了影响栅氧击穿的 因素,如PBL隔离和腐蚀、电容结构。