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CFEC/Pb(Mg1/3Nb2/3)03-PbTi03结构乐甫波传感器的理论研究
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作者 罗子情 王晓鹏 +1 位作者 马玉姣 黄乃兴 《电子世界》 2019年第12期86-87,共2页
乐甫模式声波传感器已经广泛应用于生物化学和气体检测。乐甫波只能存在于波导层/基底复合结构中,且波导层中的剪切波速低于基底中的剪切波速。关于乐甫波器件波导层的研究,Du等人通过射频溅射技术成功制备出厚度达7.3μm的熔凝石英(Si... 乐甫模式声波传感器已经广泛应用于生物化学和气体检测。乐甫波只能存在于波导层/基底复合结构中,且波导层中的剪切波速低于基底中的剪切波速。关于乐甫波器件波导层的研究,Du等人通过射频溅射技术成功制备出厚度达7.3μm的熔凝石英(Si02)厚膜,这种技术的采用解决了Si02波导层的制备难题。单向碳纤维树脂复合材料(CFEC)的声阻抗与Si02和铝的声阻抗非常接近,且其密度更低。因此,单向碳纤维树脂复合材料的声吸收和声衰减与Si02材料十分接近。为此,我们将单向碳纤维树脂复合材料引入到乐甫波器件的波导中。 展开更多
关键词 乐甫波传感器 复合结构 树脂复合材料 剪切波速 溅射技术 声波传感器 碳纤维 气体检测
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