反射镜面形三坐标白光扫描检测精度研究

检测与评价是保障遥感器光学镜面各加工阶段面形精度的必要条件。在镜面加工的铣磨、研磨、粗抛阶段,由于面形偏差及粗糙度过大,通常采用三坐标接触式测量法来测量评价面形质量从而指导面形加工,但检测效率低。文章阐述了一种基于三坐标测量机的新的、非接触式光学检测方法——三坐标白光扫描,同时对该检测方法的扫描参数、反射镜表面反射率是否影响检测精度开展了实验研究,并与三坐标接触式测量法进行了精度比对。研究表明白光扫描检测精度不受扫描参数及反射镜表面反射率的影响,且与接触式三坐标测量法精度基本相当,同时提高检测效率80%以上。