冷热交替环境适用的耐磨薄膜设计及评价

为强化飞机传动件表面质量以适应复杂的工作环境,提出一种基于磁控溅射技术制备不同Ni含量的Ni-CrSiN涂层。通过优化涂层中Ni元素掺杂量,实现传动件涂层表面的高硬度和耐磨性的功能耦合和对涂层冷热循环前后的结合力及摩擦学性能探究。结果表明:Ni含量为8.68 at%和14.41 at%的Ni-CrSiN涂层在冷热循环后的结合力高于冷热循环前的结合力,且Ni含量为8.68 at%的Ni-CrSiN涂层结合力最佳。对于摩擦性能而言,Ni掺杂可以改善CrSiN涂层常温下的耐磨性,但却削弱CrSiN涂层在冷热交替循环后的耐磨性,并且随着Ni含量的增加,Ni-CrSiN涂层的磨损率呈上升趋势。