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MEMS压阻式压力传感器梁−膜−三岛膜结构设计与优化
1
作者
郭威
李辉
+5 位作者
罗登玲
刘细辉
邹力
李绍荣
郭小伟
唐普英
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第6期852-861,共10页
传统的压阻式压力传感器虽然灵敏度高但非线性度也高。针对该问题,设计了一种以敏感膜片为梁−膜−三岛结构的新型压阻式压力传感器,通过在敏感膜片上设计3个方岛结构来提高传感器的线性度和抗过载能力;同时,利用敏感膜片上设计的短窄梁...
传统的压阻式压力传感器虽然灵敏度高但非线性度也高。针对该问题,设计了一种以敏感膜片为梁−膜−三岛结构的新型压阻式压力传感器,通过在敏感膜片上设计3个方岛结构来提高传感器的线性度和抗过载能力;同时,利用敏感膜片上设计的短窄梁结构形成应力集中区,保证压力传感器的高灵敏度。对结构进行仿真分析,建立压力膜尺寸参数与力学性能之间的数学模型,对数学模型参数进行了分析、拟合和求解,最后求解非线性约束条件下的极值,完成尺寸优化,传感器性能得到提升。结果表明:在保证传感器低非线性度的条件下,提高了压力传感器的灵敏度,具有良好的力学性能。
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关键词
MEMS
压力传感器
有限元仿真
设计与优化
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职称材料
官地水电站调速技术的应用与维护
被引量:
1
2
作者
于文杰
赵辉
罗登玲
《四川水力发电》
2012年第5期31-33,40,共4页
从官地水电站调速器控制系统的基本结构、控制功能的实现、技术要点及运行维护注意事项等方面论述了调速器控制系统的特点并进行了运行效果评价,其技术在国内具有一定的代表意义,对调速器控制系统的应用与维护具有参考价值。
关键词
调速器
控制系统
运行维护
结构
功能
官地水电站
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职称材料
浅谈锦屏二级电站水库的精细化调度
被引量:
1
3
作者
王定立
唐杰阳
罗登玲
《水电厂自动化》
2015年第4期57-59,共3页
本文主要针对雅砻江流域的锦屏二级电站水库的精细化调度进行分析,通过分析机组水头变化与站内机组负荷分配等方面入手,讨论水库水量的细微变化对类似锦屏二级水库这样的日调节水库造成的影响,并通过实际案例进行论证。
关键词
雅砻江流域
锦屏二级
精细化调度
水头
负荷分配
原文传递
官地水力发电厂水厂改造的工程实践
4
作者
于文杰
刘凯
罗登玲
《水电厂自动化》
2016年第1期25-30,共6页
介绍官地水力发电厂水厂概况及存在的问题,阐述水厂改造的功能实现及改造效果,并进行经验总结,为同类水厂改造及建设提供案例参考。
关键词
水厂
水电站
自动投药
改造
原文传递
题名
MEMS压阻式压力传感器梁−膜−三岛膜结构设计与优化
1
作者
郭威
李辉
罗登玲
刘细辉
邹力
李绍荣
郭小伟
唐普英
机构
电子科技大学光电科学与工程学院
电子科技大学长三角研究院(湖州)
出处
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第6期852-861,共10页
文摘
传统的压阻式压力传感器虽然灵敏度高但非线性度也高。针对该问题,设计了一种以敏感膜片为梁−膜−三岛结构的新型压阻式压力传感器,通过在敏感膜片上设计3个方岛结构来提高传感器的线性度和抗过载能力;同时,利用敏感膜片上设计的短窄梁结构形成应力集中区,保证压力传感器的高灵敏度。对结构进行仿真分析,建立压力膜尺寸参数与力学性能之间的数学模型,对数学模型参数进行了分析、拟合和求解,最后求解非线性约束条件下的极值,完成尺寸优化,传感器性能得到提升。结果表明:在保证传感器低非线性度的条件下,提高了压力传感器的灵敏度,具有良好的力学性能。
关键词
MEMS
压力传感器
有限元仿真
设计与优化
Keywords
MEMS
pressure sensor
finite element simulation
design and optimization
分类号
TP73 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
官地水电站调速技术的应用与维护
被引量:
1
2
作者
于文杰
赵辉
罗登玲
机构
官地水力发电厂
出处
《四川水力发电》
2012年第5期31-33,40,共4页
文摘
从官地水电站调速器控制系统的基本结构、控制功能的实现、技术要点及运行维护注意事项等方面论述了调速器控制系统的特点并进行了运行效果评价,其技术在国内具有一定的代表意义,对调速器控制系统的应用与维护具有参考价值。
关键词
调速器
控制系统
运行维护
结构
功能
官地水电站
分类号
TV737 [水利工程—水利水电工程]
下载PDF
职称材料
题名
浅谈锦屏二级电站水库的精细化调度
被引量:
1
3
作者
王定立
唐杰阳
罗登玲
机构
雅砻江流域水电开发有限公司
出处
《水电厂自动化》
2015年第4期57-59,共3页
文摘
本文主要针对雅砻江流域的锦屏二级电站水库的精细化调度进行分析,通过分析机组水头变化与站内机组负荷分配等方面入手,讨论水库水量的细微变化对类似锦屏二级水库这样的日调节水库造成的影响,并通过实际案例进行论证。
关键词
雅砻江流域
锦屏二级
精细化调度
水头
负荷分配
分类号
TV734.2 [水利工程—水利水电工程]
原文传递
题名
官地水力发电厂水厂改造的工程实践
4
作者
于文杰
刘凯
罗登玲
机构
官地水力发电厂
出处
《水电厂自动化》
2016年第1期25-30,共6页
文摘
介绍官地水力发电厂水厂概况及存在的问题,阐述水厂改造的功能实现及改造效果,并进行经验总结,为同类水厂改造及建设提供案例参考。
关键词
水厂
水电站
自动投药
改造
分类号
TV736 [水利工程—水利水电工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS压阻式压力传感器梁−膜−三岛膜结构设计与优化
郭威
李辉
罗登玲
刘细辉
邹力
李绍荣
郭小伟
唐普英
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
官地水电站调速技术的应用与维护
于文杰
赵辉
罗登玲
《四川水力发电》
2012
1
下载PDF
职称材料
3
浅谈锦屏二级电站水库的精细化调度
王定立
唐杰阳
罗登玲
《水电厂自动化》
2015
1
原文传递
4
官地水力发电厂水厂改造的工程实践
于文杰
刘凯
罗登玲
《水电厂自动化》
2016
0
原文传递
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
统计分析
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