PSD几何误差测量系统及不确定度分析

针对形位误差高精度测量的要求,利用位置敏感探测器(PSD)具有高精度、高灵敏度、响应迅速、易于与其他系统集成等优点,搭建了以激光光束为基准线,二维位置敏感探测器为光电转化器件的形位误差测量系统,通过移动终端软件可实时显示采样点相对于基准线的位置变化并以最小二乘法快速输出形位误差评定结果,相较于传统测量方法更快速更稳定。系统对直线导轨的直线度进行测量并从单点测量和综合测量系统两个角度进行不确定度评定,实验表明:基于单点测量的标准不确定度为5.9μm,基于测量系统的标准不确定度为7.4μm,验证系统具有可靠的测量结果。