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基于压膜阻尼效应的纳米振动传感光机系统设计
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作者 梁亮 梁文峰 +2 位作者 翟胜杭 杨铁 于鹏 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第11期1863-1870,共8页
原子力显微镜(AFM)在微纳成像、测量等领域有着举足轻重的作用,然而振动引起的噪声对其成像和测量有较大影响。为减小振动影响,采用双测头差分的方法进行测量成像,而双测头测量系统中测振测头需满足小型化的需求。因此,提出一种基于压... 原子力显微镜(AFM)在微纳成像、测量等领域有着举足轻重的作用,然而振动引起的噪声对其成像和测量有较大影响。为减小振动影响,采用双测头差分的方法进行测量成像,而双测头测量系统中测振测头需满足小型化的需求。因此,提出一种基于压膜阻尼效应的纳米振动传感光机系统,旨在满足该需求。通过对系统的光路与结构进行设计,实现系统的小型化,并且仿真验证了设计的合理性。在此基础上,搭建实物进行实验,测量系统的底噪、灵敏度、带宽等参数,以验证理论分析的正确性。实验结果表明:测头部分的尺寸仅为25 mm×40 mm×40 mm,系统的底噪低于150 fm/√Hz,灵敏度为1823 nm/V,带宽为705 Hz,分辨率为0.8 nm。本系统可实现对于AFM测头纳米级的振动测量,为AFM的振动噪声测量提供了一种方法,并且为实现AFM测头微型化提供了参考。 展开更多
关键词 光机系统 压膜阻尼效应 振动测量 纳米级 传感
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双足竞步机器人的步态规划 被引量:1
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作者 翟胜杭 姜豪 +4 位作者 祝铠甲 张鹏 刘利 史颖刚 胡国田 《机械研究与应用》 2017年第1期10-14,共5页
以双足竞步机器人为研究对象,提出了一种可以对机器人进行快速调试的方法。该方法先建立机器人的数学模型和运动学方程,求出机器人正运动学的解,并进行步态规划,计算出机器人行走或其他动作过程中各关节摆动的角度,再进行上机调试。测... 以双足竞步机器人为研究对象,提出了一种可以对机器人进行快速调试的方法。该方法先建立机器人的数学模型和运动学方程,求出机器人正运动学的解,并进行步态规划,计算出机器人行走或其他动作过程中各关节摆动的角度,再进行上机调试。测试结果表明,在该方法所得结果的基础上,进行一定的调节,就能够让机器人完成预期动作。这种离线规划、在线微调的快速调试方法,能够有效提高同类型机器人的调试效率。 展开更多
关键词 双足竞步机器人 舵机 自由度 步态规划 快速调试
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