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题名基于压膜阻尼效应的纳米振动传感光机系统设计
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作者
梁亮
梁文峰
翟胜杭
杨铁
于鹏
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机构
沈阳建筑大学机械工程学院
中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室
中国科学院机器人与智能制造创新研究院
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第11期1863-1870,共8页
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基金
国家重点研发计划项目(2020YFB1712700)。
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文摘
原子力显微镜(AFM)在微纳成像、测量等领域有着举足轻重的作用,然而振动引起的噪声对其成像和测量有较大影响。为减小振动影响,采用双测头差分的方法进行测量成像,而双测头测量系统中测振测头需满足小型化的需求。因此,提出一种基于压膜阻尼效应的纳米振动传感光机系统,旨在满足该需求。通过对系统的光路与结构进行设计,实现系统的小型化,并且仿真验证了设计的合理性。在此基础上,搭建实物进行实验,测量系统的底噪、灵敏度、带宽等参数,以验证理论分析的正确性。实验结果表明:测头部分的尺寸仅为25 mm×40 mm×40 mm,系统的底噪低于150 fm/√Hz,灵敏度为1823 nm/V,带宽为705 Hz,分辨率为0.8 nm。本系统可实现对于AFM测头纳米级的振动测量,为AFM的振动噪声测量提供了一种方法,并且为实现AFM测头微型化提供了参考。
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关键词
光机系统
压膜阻尼效应
振动测量
纳米级
传感
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Keywords
opto-mechanical system
squeeze film damping effect
vibration measurement
nanoscale
sensing
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分类号
TH742
[机械工程—光学工程]
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题名双足竞步机器人的步态规划
被引量:1
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作者
翟胜杭
姜豪
祝铠甲
张鹏
刘利
史颖刚
胡国田
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机构
西北农林科技大学机械与电子工程学院
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出处
《机械研究与应用》
2017年第1期10-14,共5页
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基金
西北农林科技大学教学改革研究项目:<机械设计>创新实验教学模式研究(编号:JY1503027)
西北农林科技大学"大学生创新创业训练计划":人形机器人姿态稳定性分析与快速调试方法研究(编号:2014107121191)
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文摘
以双足竞步机器人为研究对象,提出了一种可以对机器人进行快速调试的方法。该方法先建立机器人的数学模型和运动学方程,求出机器人正运动学的解,并进行步态规划,计算出机器人行走或其他动作过程中各关节摆动的角度,再进行上机调试。测试结果表明,在该方法所得结果的基础上,进行一定的调节,就能够让机器人完成预期动作。这种离线规划、在线微调的快速调试方法,能够有效提高同类型机器人的调试效率。
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关键词
双足竞步机器人
舵机
自由度
步态规划
快速调试
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Keywords
biped walking robot
steering engine
degree of freedom
gait planning
fast debugging
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分类号
TP242.6
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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