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晶体生长控制中的高分辨力称重系统 被引量:4
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作者 耀飞黔 李艳杰 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第1期53-54,57,共3页
论述了晶体生长控制中高分辨力称重系统的实现技术。重点介绍了传感器的选型方法和信号调理电路的设计技术。系统达到了二十万分之一的有效分辨力。
关键词 晶体生长 高分辨力 称重系统 传感器 信号调理 直径控制
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基于有功功率控制器的温度控制系统设计 被引量:1
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作者 耀飞黔 《测控技术》 CSCD 2003年第5期45-46,47,共3页
叙述了有功功率控制器在温度控制系统中的应用特点 ,重点介绍了在电阻性负载下有功功率控制器的设计原理和实现方法。
关键词 温度控制系统 设计 有功功率控制器 非线性 电阻性负载 金属冶炼
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MPY100乘法器在有功功率控制器中的应用
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作者 耀飞黔 《电子元器件应用》 2004年第7期47-49,共3页
介绍TI公司生产的MPY100乘法器在有功功率控制器中的应用及设计要点。该电路已成功地应用在晶体生长炉的温度控制系统中。
关键词 乘法器 有功功率控制 电路 应用
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TDR—80型单晶炉的研制
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作者 李留臣 耀飞黔 《电子工业专用设备》 1999年第4期25-27,共3页
介绍TDR—80 型单晶炉的设计思路及工作原理,并结合单晶炉的特殊工艺要求。
关键词 TDR-80型 半导体材料 单晶 单晶炉
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单晶炉等径控制方法
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作者 耀飞黔 《LSI制造与测试》 1992年第6期10-15,共6页
关键词 半导体材料 单晶拉制 单晶炉 控制
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刷架结构及信号传输
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作者 耀飞黔 李留臣 《LSI制造与测试》 1993年第1期19-21,共3页
关键词 晶体生长 数据传输 刷架结构
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