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题名晶体生长控制中的高分辨力称重系统
被引量:4
- 1
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作者
耀飞黔
李艳杰
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机构
西安理工大学工厂
中国电子科技集团公司第
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出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003年第1期53-54,57,共3页
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文摘
论述了晶体生长控制中高分辨力称重系统的实现技术。重点介绍了传感器的选型方法和信号调理电路的设计技术。系统达到了二十万分之一的有效分辨力。
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关键词
晶体生长
高分辨力
称重系统
传感器
信号调理
直径控制
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Keywords
crystal growth
sensor
resolution
signal processing
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分类号
O78
[理学—晶体学]
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题名基于有功功率控制器的温度控制系统设计
被引量:1
- 2
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作者
耀飞黔
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机构
西安理工大学晶体生长设备研究所
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出处
《测控技术》
CSCD
2003年第5期45-46,47,共3页
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文摘
叙述了有功功率控制器在温度控制系统中的应用特点 ,重点介绍了在电阻性负载下有功功率控制器的设计原理和实现方法。
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关键词
温度控制系统
设计
有功功率控制器
非线性
电阻性负载
金属冶炼
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Keywords
temperature control
active power controller
nonlinear
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分类号
TF3
[冶金工程—冶金机械及自动化]
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题名MPY100乘法器在有功功率控制器中的应用
- 3
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作者
耀飞黔
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机构
西安理工大学晶体生长设备研究所
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出处
《电子元器件应用》
2004年第7期47-49,共3页
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文摘
介绍TI公司生产的MPY100乘法器在有功功率控制器中的应用及设计要点。该电路已成功地应用在晶体生长炉的温度控制系统中。
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关键词
乘法器
有功功率控制
电路
应用
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Keywords
multiplier
active power control
circuit
application
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分类号
TN409
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名TDR—80型单晶炉的研制
- 4
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作者
李留臣
耀飞黔
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机构
西安理工大学
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出处
《电子工业专用设备》
1999年第4期25-27,共3页
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文摘
介绍TDR—80 型单晶炉的设计思路及工作原理,并结合单晶炉的特殊工艺要求。
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关键词
TDR-80型
半导体材料
单晶
单晶炉
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分类号
TF806.9
[冶金工程—有色金属冶金]
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题名单晶炉等径控制方法
- 5
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作者
耀飞黔
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出处
《LSI制造与测试》
1992年第6期10-15,共6页
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关键词
半导体材料
单晶拉制
单晶炉
控制
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分类号
TF806.9
[冶金工程—有色金属冶金]
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题名刷架结构及信号传输
- 6
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作者
耀飞黔
李留臣
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出处
《LSI制造与测试》
1993年第1期19-21,共3页
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关键词
晶体生长
数据传输
刷架结构
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分类号
O78
[理学—晶体学]
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