中能离子注入机用静电吸盘

简要介绍了静电吸盘的工作原理,理论分析了六相静电吸盘的工作模式,对静电吸盘进行了结构设计和制作工艺研究,并对静电吸盘的工艺性能尤其是静电吸盘在不同压力的氮气冷却性能进行了研究。实验结果表明,静电吸持电压的频率为30 Hz时最佳,这时电压一般为0.5 kV^1 kV,所需电源的功率较小。

神经网络在提高锂离子电池检测精度中的研究

随着近些年来锂离子动力电池的广泛应用,作为生产锂离子电池关键设备的检测系统也成为新的研究热点。但由于系统中大量非线性元件的使用,使得设定基准、采样信号和实际的测量值之间存在较大误差。为了减小干扰、提高数据传输准确性和控制精度,必须对传送的数据进行处理。人工神经网络以其任意非线性函数的任意逼近能力和自学习能力,在控制领域内得到了广泛的应用。用人工神经网络对数据进行处理,修正系统误差。结果表明,经神经网络处理后的采样数据检测精度大幅度提高,为提高电池生产质量提供了可靠保证。

离子注入机大行程垂直扫描系统的研制

采用垂直扫描系统是离子注入机最常用的扫描方式之一,着重阐述了一种大行程垂直扫描系统的系统构成、设计思路和实现方法。经过实际使用证明,该系统提高了离子注入机机械扫描的可靠性和稳定性。