应用高分辨率超微粒干板直接摄制分划镜的新工艺

本文介绍了一种在高分辨率的超微粒干板上直接摄制光学分划的高效率新工艺,新工艺可省去下料、粗磨、抛光等诸多工序,有明显的经济效益。