超大规模集成电路CoSix抗氧化阻挡层的制备优化

为了制备性能良好的Co(W,P)抗氧化层薄膜材料,提出用SiH4或Si2H6对Co层进行硅化的方案.在整个硅化过程中存在着Si在Co中的扩散和Cu在Co中的扩散,为了实现较好的硅化效果有必要对扩散速率进行定量化.利用X射线光电子能谱(XPS)对Cu在Co中的扩散和Si在Co中的扩散进行深度剖面分析得到了有用的数据,在讨论了扩散过程的基础上,绘制了条件优化区域.实验结果表明:硅化反应的化学气相沉积(CVD)所得到的CoSi薄膜的抗氧化性能明显地比过程优化前得到了提高.

初中数学教学中课堂小结的技巧分析

以往我国初中数学教学采取的都是传统的灌输式教学模式，使得课堂教学总是停留于“灌”与“输”中，每节课都处于不断地讲解中，甚至每节课都有讲不完的内容，更不用提课堂小结了，既没有得到重视，也没有总结的时间。虽然教师课堂中非常的忙碌，但是取得的教学成效并没有预期那么好。课堂小结是对每节课零碎知识点的总结与归纳，此环节如果能够有技巧的推进，不仅能帮助学生构建完整的知识体系，还有益于教与学热情及成效的提升。