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Terfenol-D/SAW谐振器/Terfenol-D复合磁传感器 被引量:3
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作者 肖庭富 文玉梅 +1 位作者 李平 郑敏 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期924-928,共5页
设计了一种由超磁致伸缩材料Terfenol-D和SAW谐振器构成的复合磁传感器,在磁场作用下,Terfenol-D沿长度方向伸缩,并将应力应变传递至SAW谐振器,使其产生应变,造成谐振频率改变,通过测量SAW谐振器谐振频率的变化来测量磁场强度。分析了... 设计了一种由超磁致伸缩材料Terfenol-D和SAW谐振器构成的复合磁传感器,在磁场作用下,Terfenol-D沿长度方向伸缩,并将应力应变传递至SAW谐振器,使其产生应变,造成谐振频率改变,通过测量SAW谐振器谐振频率的变化来测量磁场强度。分析了该磁传感器的传感原理,建立了该复合磁传感器的静态模型,对弹性敏感元件进行了受力分析,根据压磁方程和受力平衡得到该磁传感器的静态特性。实验结果表明:该复合磁传感器灵敏度可达341.6Hz/Oe,较Terfenol-D/SAW谐振器结构灵敏度提高了3倍;测量谐振频率的分辨率为1Hz,SAW谐振器频率稳定度为0.1×10-6时,该磁传感器对磁场的分辨率为10-6T。 展开更多
关键词 超磁致伸缩材料 声表面波谐振器 磁传感器 静态特性
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声表面波介质表面受力条件下的波速变化研究 被引量:1
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作者 郑敏 文玉梅 +2 位作者 李平 孙雪梅 肖庭富 《声学学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第5期437-442,共6页
为了计算力负载直接作用在声表面波传播表面时波速的变化特性,通过有效材料系数将负载引入,并用广义Green函数计算声速,得到了数值计算的结果,并用声表面波谐振器进行了实验。实验结果表明,将力负载直接加载在声表面波的传播表面时,波... 为了计算力负载直接作用在声表面波传播表面时波速的变化特性,通过有效材料系数将负载引入,并用广义Green函数计算声速,得到了数值计算的结果,并用声表面波谐振器进行了实验。实验结果表明,将力负载直接加载在声表面波的传播表面时,波速变化量和力负载大小近似为线性关系,该加载方式下,实验中声表面波谐振器的谐振频率对外加质量负载有较高的灵敏度,可达1900Hz/g。 展开更多
关键词 声表面波谐振器 介质表面 波速变化 受力条件 质量负载 函数计算 加载方式 表面波传播
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GMM和SAW谐振器复合磁传感器设计与分析
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作者 郑敏 文玉梅 +1 位作者 李平 肖庭富 《微纳电子技术》 CAS 2007年第7期263-265,共3页
提出了一种新的超磁致伸缩材料(GMM)和声表面波(SAW)谐振器构成的复合磁传感器,将磁场中GMM的应力应变传递到SAW谐振器上,改变其谐振频率,检测谐振频率进行磁场测量。推导了复合磁传感器在磁场中的频率响应及磁场-频率偏移量关系,并对... 提出了一种新的超磁致伸缩材料(GMM)和声表面波(SAW)谐振器构成的复合磁传感器,将磁场中GMM的应力应变传递到SAW谐振器上,改变其谐振频率,检测谐振频率进行磁场测量。推导了复合磁传感器在磁场中的频率响应及磁场-频率偏移量关系,并对传感器的静态特性进行了测试。分析表明该传感器为低通系统,截止频率约为14.34Hz。实验验证了复合传感器的最高静态灵敏度可达到190Hz/Oe。 展开更多
关键词 超磁致伸缩材料 声表面波 谐振器 磁传感器
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