Co2MnAl哈斯勒合金薄膜的制备与磁性研究

采用磁控共溅射方法制备了Co_2MnAl哈斯勒合金薄膜。系统研究了衬底加热温度对Co_2MnAl薄膜的晶体结构、磁学性质(饱和磁化强度和矫顽力)和表面粗糙度的影响。300℃时制备的Co_2MnAl薄膜具有良好的B2晶体结构,显示了最大的饱和磁化强度和非常小的粗糙度。通过调控衬底加热温度,实现了Co_2MnAl薄膜的矫顽力在400~2 785A/m范围的调控。