TiO_2薄膜敏感特性研究

利用 ＭＯＣＶＤ工艺可制备得到锐钛矿型ＴｉＯ２薄膜，在其上溅射金属 Ｐｔ并控制工艺流程的温度，Ｐｔ／ＴｉＯ２间将形成良好的金半整流接触．该Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基二极管在常温下表现出良好的气敏特性，响应时间短，对稳定环境中低分压气体浓度的变化反应灵敏．同时，该 Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基二极管还对约 ２５０－３７０ ｎｍ的紫外光敏感．本文研究了 Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基二极管气敏和光敏特性，分析了敏感机理．

Pt/TiO_2二极管湿敏传感器

Pt常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触 .在常温下 ,Pt/ Ti O2 界面处的电子电导对 Pt/ Ti O2 肖特基势垒高度的变化非常敏感 .本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能 ,并讨论了因水在 Pt/ Ti O2 界面处的化学吸附 ,引起表面态费米能级改变 ,影响 Pt/Ti O2 肖特基势垒的高度 ,从而导致了 I- V曲线的变化的物理过程 。

Pt/TiO2二极管湿敏传感器

Ｐｔ常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触。在常温下，Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的电子电导对Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基势垒高度的变化非常敏感。本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能，并讨论了因水在Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的化学吸附，引起表面Ｆｅｒｍｉ能级改变，影响Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基势垒的高度，从而导致了Ｉ－Ｖ曲线变化的物理过程，对器件制造过程中的工艺问题也有所论述。