压力传感器引线键合金线的振动疲劳研究

本文对一种汽车用MEMS压力传感器中的键合金线,在加速振动试验时的疲劳情况进行了研究。首先简单介绍了MEMS压力敏感芯片引线键合以及引线的基本情况,然后利用有限元方法对引线在20g的加速振动下的疲劳和寿命进行了分析,并利用了概率上的冗余理论对键合工艺提出了改进,最后给出了实际的结果,证实了模拟和改进工艺的合理性。