硅片键合强度测试方法的进展

键合强度是关系到键合好坏的一个重要参数。本文介绍了键合强度测试方法的理论基础 ;随后列举了几种常见的测量方法 ,包括裂纹传播扩散法、静态流体油压法、四点弯曲分层法、MC测试方法、直拉法及非破坏性测试方法 (超声波测试法和颗粒法 )。分析了各种方法的优缺点 :裂纹传播扩散法操作简单 ,但它受测量环境、如何插入刀片等因素的影响 ,而且只适合于较弱的键合强度测试 ;对于较强的键合强度还是采用直拉法来测量 ,但它受到拉力手柄粘合剂的限制 ;对于器件中的键合强度测量采用MC测试方法更为适宜 ;超声波测试法现在只适用于弱键合强度。本文能对键合强度测量方法的开发、改进工作有所帮助。

硅片键合界面缺陷分布与Weibull模数的关系

从理论推导分析了键合片的缺陷分布与Weibull模数m之间的关系。此关系与实验相符,并利用此关系很好地解释了硅片键合强度随退火温度变化的关系。

探讨水中微囊藻毒素的检测方法——问接竞争ELISA

微囊藻毒素（microcystins．MCs）是由水华蓝藻产生的一类环状七肽肝毒素，能强烈抑制丝氨酸、苏氨酸蛋白磷酸酶PP1和PP2A的活性而具有高急性毒性、强促癌活性，引起肝损伤甚至肝坏死，已被证明是肝肿瘤强促进剂之一。其中存在最普遍也是含量最多，毒性较大的是MC～LR、MC-YR和NMC—RR。