12对棒还原炉预热启动方式的优化研究

多晶硅还原预热启动方式中,有很多种启动方式,国内大部分最先采用的是氮气气氛下用卤素灯加热预启动方式,或者用三相高压击穿启动。然而上述方式都存在启动时间长、设备成本较高等问题。因此针对现有多晶硅还原炉启动,本文介绍了一种高压击穿二相烘烤一相的启动方式,更高效,更经济,更稳定。