层间介质(ILD)CMP工艺分析

论述了层间介质(ILD)的类型及其在集成电路设计中的作用。以典型层间介质SiO_2为例,分析其CMP(化学机械平坦化)工艺过程的化学和机械作用机理,并在此基础上阐述影响CMP工艺的各项关键因素。结合分析得出以SiO_2作为层间介质进行CMP的技术要求,工艺流程和设备结构需求。

CMP设备中几种下压力施加结构简介

分析了旋转臂式结构的下压力特点,指出其采用最直接的杠杆原理,是第一代CMP机型IPEC372M的典型结构,适用于0.8μm的技术节点,并指出其局限性;后分析了桥式下压力结构,加了垂直于抛光台的主轴套及铰链结构,这种改善性的杠杆原理保证气缸施加下压力的有效性;研究了中国电子科技集团公司第四十五研究所特有专利技术的转塔式结构采用的浮动悬挂模块,能够实现完全下压力的垂直性,同时具备维持压力的恒定性和微压力的灵敏性;然后分析应用材料的旋转木马形式结构,并研究了其结构的特色能够实现抛光头的垂直下降,而且薄膜的压力完全替代下压力和背压的作用,具备更好的晶圆平坦化性能。最后指出今后CMP压力结构应该具备高响应特性、少的移动部件。

灵璧人民怀念江祥斋

知识分子出身的共产党员江祥斋,1939年6月随八路军苏鲁豫支队来到灵璧,到1946年11月壮烈牺牲,在灵璧工作七年多,在对敌人斗争中取得了一个义一个胜利。当时灵北地区广泛流传着一首歌谣:"说老江唱老江,一天不见想得慌。领导咱们闹翻身,抗日抗丁又抗粮。"这首歌由衷地表达了对江祥斋同志的赞颂之情。弃教从军江祥斋1902年出生于江苏省丰县和集乡江庄村,10岁父母双亡,全靠祖父母和叔父抚养;1920年入小学读书,1932年初师毕业后,相继任小学教员、校长。随着知识的增长。

彭雪枫师长痛悼周启邦

1942年4月23日在安徽灵璧大山附近倪圩子战斗中,宿东游击支队队长兼政委周启邦连同参谋邓伦等同志壮烈牺牲。新四军第四师师长彭雪枫得知消息十分痛惜,他说:"噩耗传来,党为之震悼,朋辈为之悲痛!此乃我师我边区之莫大损失!"在5月10日四师师部为周启邦同志召开的追悼大会上,彭雪枫师长亲致悼词,并在5月23日的《拂晓报》上发表了《悼启邦同志》的文章。

张大路——张爱萍早期开展抗日活动的重要阵地

张爱萍将军从1939年7月到津浦路东至1940年9月1日任新组建的八路军五纵队三支队司令员,挺进苏北,开辟淮海、盐阜,开辟皖东北抗日根据地并取得辉煌战果。这期间,位于灵璧县中部的张大路成了张爱萍将军开展活动的一个重要阵地。1939年初,抗日战争已进入相持阶段,张爱萍担任中共豫皖边省委书记和新四军游击支队党政军委员会委员职务。他了解到津浦路以东宿县、灵璧。

垓下古战场 农业开拓创新带头人——记安徽省灵璧县灵南生态农业专业合作社理事长王飞

安徽省灵璧县韦集镇丁李村位于当年垓下之战古战场。该村村民王飞在党的政策指引下，在实践中不断探索，创办了灵南生态农业专业合作社，并担任理事长。他与众乡亲们一起打破传统的种植习惯，推广发展黑粮农业，加快了致富步伐。县政府和宿州市农委等分别赠匾称赞其为“优秀农村合作组织”“市级农民合作社示范社”“市级龙头企业”。

张爱萍长征中尊老爱兵小故事

1934年9月,由于国民党第五次＂围剿＂向中央苏区推进,在＂红大＂学习了四个月的张爱萍,被分配到了红三军团4师12团任政委,开始率部参加长征,直到1935年10月到达吴起镇,长征胜利。在他带兵打仗途中,有几则尊老爱兵的故事,令人感动。

骁勇善战的佘骑义烈士

新中国成立后,徐州市人民政府在市南郊云龙山麓,为佘骑义烈士修建了水泥抹顶的坟墓。20世纪50年代初的一天,毛泽东主席前往淮海战役纪念馆视察,在佘骑义的遗像前,听了关于佘骑义同志英雄事迹的介绍,无限深情地说：＂我们有很多好的同志牺牲了,我们一定要记住他们。＂佘骑义同志是在华野5师任参谋长时牺牲的,他骁勇善战,战绩卓著,令人难忘。

发展农村订户，扩大《时事报告》发行

发展农村订户，扩大《时事报告》发行安徽省灵璧县委宣传部副部长胡兴臣灵壁地处皖东北，是个拥有百余万人口、１８０多万亩耕地的农业大县，农业发达，也是个革命老区，这里的干部群众一向关心时事政治，各种报刊订数均不少，唯独《时事报告》不多。我们认为，《时事报告...

昔日战地黄花香 今朝旅游好地方——记灵璧县磬石之乡渔沟镇

地处安徽省灵璧县磐石之乡的渔沟镇,随着改革开放的深入发展,干部群众大力弘扬革命传统,坚持从当地实际出发,全面规划,不断加快城镇化建设步伐,文明建设成果越来越丰硕,相继被国家建设部授予“全国小城镇建设试点镇”称号,2007年6月被安徽省政府授予“安徽省优秀旅游乡镇”称号。

金戈铁马驰骋淮北战场——记新四军四师骑兵团

1941年5月,新四军四师奉命从津浦路西转移到路东以后,总结平原游击战的教训,于当年8月1日成立了骑兵团。周纯麟曾在新疆盛世才的部队当过骑兵连长,于是被调到骑兵团,相继担任副团长、团长、团长兼政治委员,率领骑兵驰骋在淮北平原上。骑兵团成立之初,不少指战员不会骑马,不会喊口令,不懂得指挥骑兵作战。马具马刀缺乏,装备很差。有些新买来的生马不合群,不善奔跑。

活跃在磐石之乡的银发园丁

安徽省灵璧县磐石之乡鱼沟镇,活跃着一支百多人的老教师关爱团。他们为青少年的健康成长发挥余热作贡献,受到干部群众的赞誉。团长沈中印被评为先进个人,先后7次受到县、市、省关工委及有关部门的表彰。鱼沟镇地处皖东北边缘,与江苏睢宁县接壤,战争年代这里有着光荣的革命传统,开国将领张爱萍、韦国清、胡炳云。

我当交通员的一段经历

参军 我原籍江苏睢宁马浅村，出身贫寒，全家靠租种几亩薄地为生，受尽剥削和压迫。我听了共产党地下党员周彬在贫苦农民会上的演讲，懂得许多抗日道理，萌发了参加革命的念头。我表叔周阳计是陇海南进支队独立三中队中队长，带领军民抗击日伪军，更坚定了我参加抗日队伍的决心。1938年冬我便加入了八路军陇海南进支队。