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ZnMgO合金薄膜晶体质量与生长温度的依赖关系
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作者 宿世臣 杨孝东 胡灿栋 《广州化工》 CAS 2011年第13期65-66,73,共3页
利用等离子体分子辅助分子束外延设备在蓝宝石衬底上通过改变生长温度,得到了不同的ZnMgO合金薄膜。研究了衬底温度对ZnMgO的结构和光学性质的影响。X射线衍射谱表明所有的ZnMgO合金样品都是(002)取向。晶体结构为六角纤锌矿。随着生长... 利用等离子体分子辅助分子束外延设备在蓝宝石衬底上通过改变生长温度,得到了不同的ZnMgO合金薄膜。研究了衬底温度对ZnMgO的结构和光学性质的影响。X射线衍射谱表明所有的ZnMgO合金样品都是(002)取向。晶体结构为六角纤锌矿。随着生长温度的增加,ZnMgO的(002)衍射峰的最大半宽度逐渐减小。在ZnMgO合金中的Mg组分随衬底温度升高逐渐增大。样品的表面形貌随着衬底的温度改变而变化。ZnMgO的X射线衍射,透射光谱,光致发光谱和扫描电镜照片都表明在800℃得到了高质量的ZnMgO合金薄膜。并且通过控制衬底温度实现了ZnMgO中Mg组分的调节。 展开更多
关键词 ZNMGO 等离子体辅助分子束外延 光致发光
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Si(111)衬底上生长的ZnO薄膜的光学特性研究
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作者 宿世臣 胡灿栋 牛犇 《广州化工》 CAS 2011年第9期10-11,26,共3页
利用等离子体分子束外延(P-MBE)设备在S i(111)衬底上制备了高质量的ZnO薄膜。通过扫描电镜观察了ZnO薄膜的表面形貌为的六角结构。X射线衍射谱显示ZnO薄膜为c轴择优取向的,ZnO(002)取向X射线衍射峰的最大半宽度仅0.18°。并通过室... 利用等离子体分子束外延(P-MBE)设备在S i(111)衬底上制备了高质量的ZnO薄膜。通过扫描电镜观察了ZnO薄膜的表面形貌为的六角结构。X射线衍射谱显示ZnO薄膜为c轴择优取向的,ZnO(002)取向X射线衍射峰的最大半宽度仅0.18°。并通过室温和变温发光谱对ZnO薄膜的发光特性进行了研究。在低温下ZnO的发光以施主束缚激子为主,室温下发光的主要来源为ZnO的自由激子发光。 展开更多
关键词 ZNO SI 光致发光
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Fabrication of ZnO nanowall-network ultraviolet photodetector on Si substrates 被引量:4
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作者 宿世臣 杨孝东 胡灿栋 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期49-51,共3页
ZnO nanowall networks were prepared by plasma-assisted molecular beam epitaxy without a catalyst on Si(111) substrates.The nanostructures have preferred orientation along the c axis.The nanostructures are about 10 t... ZnO nanowall networks were prepared by plasma-assisted molecular beam epitaxy without a catalyst on Si(111) substrates.The nanostructures have preferred orientation along the c axis.The nanostructures are about 10 to 20 nm thick and about 50 nm tall.The planar geometry photoconductive type metal-semiconductor-metal photodetector based on the ZnO nanowall networks exhibits a high and wide response spectrum,and no decrease from 250 to 360 nm.With the applied bias below 5 V,the dark current was below 6μA,and the peak responsivity of 15 A/W was achieved at 360 nm.The UV(360 nm) to visible(450 nm) rejection ratio of around two orders could be extracted from the spectra response. 展开更多
关键词 ZNO DETECTOR MBE
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