旋片真空泵的降噪分析

油封真空泵是量大面广的真空产品,其中以旋片泵产量最大。国产旋片泵噪声偏高,其噪声问题成为真空行业亟待解决的问题之一。本文根据有关旋片泵噪声理论,运用行进测试技术对国产2XZ-4、ZX-4泵样机噪声进行了分析和实验研究。结果表明,电机噪声是泵的重要噪声源,应用低噪声电机有利于我国旋片真空泵的降噪,同时证明,噪声大的泵可通过改革泵的结构设计加以解决。

机械真空泵振动控制的研究

机械真空泵是组成真空系统的必不可少的部分,它的振动必须严格控制,因为泵的振动不仅反映泵的设计、制造水平。过大的振动将严重影响真空系统的稳定性、限制真空系统的安装位置。本文通过理论分析和实验证明,泵的主要振源来自运动系统所产生的不平衡惯性力,泵的振动特点是整体振动,减少振动的有效方法是进行动力分析和动平衡,并用实验验证结果。

油封机械真空泵“油锤效应”的分析

我们对油封机械真空泵泵部份的主要噪声源──“油锤效应”进行了实验验证与分析。应用研究结论对国产２Ｘ－４泵进行降噪研究，使泵的噪声从Ｌｗ＝７８ｄＢ（Ａ）降低到Ｌｗ＝６３．８ｄＢ（Ａ）．

H-150A 滑阀真空泵低噪音设计

现代机械产品的一个重要标志是低噪音，而作为传统观念，滑阀真空泵振动、噪声大。实践证明这一结论可以改变，新设计的Ｈ－１５０Ａ型滑阀真空泵比传统产品振动、噪声有了大幅度的改进。样机主要性能参数指标均达到或接近国外９０年代同类产品水平，振动小，噪声仅为Ｌｗ＝８１．４ｄＢ（Ａ），远远好于国内外同类产品噪声水平，本文介绍其低噪音设计的几个思路，供同行参考。

滑阀真空泵旋转活塞不平衡力的分析

滑阀真空泵是一种容积式真空泵 ,在各工业领域广泛应用。但该泵的旋转活塞平衡长期以来无精确计算方法。其旋转活塞产生的离心力引起发泵的大振动。因此降低该泵的振动长期以来为各国设计者们追寻的目标。文章在分析滑阀泵旋转活塞惯性力的基础上 ,从理论上分析比较了 H- 150 A、H- 150型国产单缸泵及英国 General公司的 GKT- 30 0 AB型 3缸结构滑阀泵的平衡效果。在滑阀泵动平衡的发展方向提出了自己的看法。

滑阀真空泵噪声机理研究

减少环境污染的要求促使生产者提供噪声小的真空泵。为了采取有效的降噪措施,进而在设计阶段就能预估和控制噪声,必须弄清噪声产生的机理。本文以国产H—150滑阀真空泵为研究对象,建立一多输入/单输出的数学模型来描述该泵的振动噪声产生机理,泵的振动噪声信号被同时记录在磁带机上并随后用数字信号处理机进行分析。基于数字信号处理的一些分析技术,如:功率谱、相干函数、频率响应和模态分析,被综合运用来识别泵的振动噪声源。试验结果说明:(1)泵的振动和噪声间存在着很强的因果关系,泵的噪声主要由其振动表面辐射所出;(2)频率为轴的转频及其谐频的周期性激励是泵的主要振动噪声来源,其中尤以周期性的冲击激励起决定性作用;(3)对滑阀在不同转角位置的振动信号进行分析,说明对于这种泵主要的噪声激励来源不是“油锤”作用,而是油气冲击;(4)模态分析的结果表明油箱的若干个固有振动模态被周期性冲击所激发,因其具有较大的声辐射表面而在某些固有频率处产生显著的噪声分量。在此基础上对泵采取了有效的措施,使泵的噪声从80dB(A)降至74dB(A)。

双级滑阀真空泵振动平衡的研究

研究了双缸结构的双级滑阀真空的振动平衡,提出了定量平衡双级滑阀真空泵振动的方法;运用最小二乘法获得多级平衡配重的关键参数,精确平衡双级滑阀真空泵的不平衡惯性力。以2H-150滑阀真空泵为例进行振动平衡,平衡后的剩余惯性力减至1500N以内,振动力降幅达到80%左右;应用多级平衡配重方法所设计的真空泵在松地脚螺钉时的最大振幅仅为0.13mm。因此,针对双级滑阀泵振动的平衡计算方法是行之有效的,可使泵的振动在很小的范围内。

深高宽比微结构的干法刻蚀

介绍了深高宽比微结构在干法刻蚀过程中遇到的刻蚀滞后、刻蚀中止、侧壁弯曲和开槽效应等与传统器件刻蚀不同的现象,讨论了制作高深宽比结构所需的关键技术和检测手段。

TPMC和DSMC方法在真空技术领域的应用

随着计算机技术的发展 ,蒙特卡罗方法 (MC)成为研究稀薄气体流动问题的重要方法。本文着重介绍了试验粒子蒙特卡罗方法 (TPMC)和直接模拟蒙特卡罗方法 (DSMC)。通过一些实际的算例 (异形管路传输几率计算、涡轮分子泵模拟优化设计 )

开拓发展大抽速双级滑阀真空泵

长期以来,我国发展双级滑阀真空泵遇到不少困难和挑战,标准制定后相隔二十多年才有生产2H-150等产品。实际上由于大抽速的双级滑阀真空泵设计制造会遇到动平衡、控制双级供油、降低噪声等一系列的问题,所以其设计制造给厂方带来很大麻烦。但是大抽速双级滑阀真空泵在使用上有很广泛的应用前景,本文介绍大抽速双级滑阀真空泵开拓发展的必要性和介绍研制成功的2H-150滑阀真空泵设计特点,并提出发展更大抽速的双级滑阀真空泵的必要性。

涡旋式真空泵

涡旋真空泵是一种新型的无油机械泵，它具有结构简单、密封性能好、极限真空高（可达５×１０－１Ｐａ）等优点。作为一种高新技术产品，它不易仿制，应用前景广阔。目前在国外，仅有少数几个公司有产品问世。

涡旋真空泵型线设计

涡旋真空泵具有结构简单、密封性能好、极限真空高 (≤ 5× 10 - 1 Pa)和不易仿制等优点 ,在国外已广泛应用于半导体和薄膜行业。型线部分是涡旋真空泵设计的关键 ,该文结合工程实际需要对其理论和实际型线进行研究 ,在此基础上 ,分解抽象出型线各部分的几何模型 ,并基于 Auto CAD编制出型线设计的 L ISP程序 ,从而建立型线参数化设计模型。该模型提高了设计效率 。

涡旋式真空泵——无油真空泵的发展趋势

涡旋真空泵具有简单，密封性有好，极限真空高（可达５×１０＾－１Ｐａ）等优点。作为一种高新技术产品，它不易仿制，目前在国外，仅有少数几个公司有产品问世。本文从涡旋真空泵工作原理出发，研究了型线与密封机构，在型结构及特点进行分析，可以预言。

偏心圆弧罗茨转子型线的研究

罗茨真空泵的转子型线有很多种。本文主要介绍一种国内未见使用的新型转子型线——偏心圆弧转子型线。实际上,偏心圆弧转子型线在国外已有提出,只是由于计算困难等原因,这种型线没有在国内得到应用。本文对该种型线进行了设计研究并予以完善,该型线的众多优点也即显示出来,希望能够供同行参考。

滑阀泵不平衡力的分析

滑阀真空泵是一种容积式真空泵 ,在工业领域中广泛应用。该泵的旋转活塞平衡长期以来无精确的计算方法 ,其旋转活塞产生的离心力引起泵的大振动。因此降低该泵的振动长期以来是各国设计者们追寻的目标。文章在分析滑阀泵旋转活塞惯性力的基础上 ,从理论上分析比较了 H- 15 0 A,H- 15 0型国产单缸泵及英国 GENERAL 公司的 GKT- 30 0 AB型三缸结构滑阀泵的平衡效果。在滑阀泵动平衡的发展方向上提出了自已的看法。

离子束辅助沉积钼酸铅晶体表面红外增透膜

由于钼酸铅晶体具有优异的机械特性、光学特性及较高的声光品质因数,故采用离子束辅助沉积技术,在钼酸铅晶体表面制备了宽带红外增透膜。文章简单介绍了镀膜设备的改造特点,并对整个工艺过程进行了分析研究。试验表明所镀膜层的光学特性及膜层品质大大提高,在光纤通信领域具有广阔的应用前景。

石英晶体监控法镀制高精度光学薄膜

讨论了石英晶体监控法在光学薄膜镀制过程中的应用原理。通过与常规的光学监控法镀制的膜层相比较 ,证实了石英晶体监控法有助于提高光学薄膜的光学品质。试验表明所镀膜层的光学性能优异 。

偏心圆弧罗茨转子型线的研究

介绍了一种新型转子型线———偏心圆弧转子型线。该转子型线由于计算困难等原因,在国内尚未得到应用。本文对该种型线进行了分析研究并予以完善。

钼酸铅晶体表面红外增透膜的研究

本文讨论了用于钼酸铅晶体表面的宽带红外增透膜的设计以及其在真空环境中的制备。膜系设计中 ,运用反射率图解法以获得满意的光学性能 ;与传统的热蒸发镀膜工艺相比 ,在真空沉积过程中采用了离子辅助沉积技术 ,从而大大提高了膜层的光学特性及膜层品质。试验表明所镀膜层性能优异 。

往复真空泵抽速测试的理论探讨

本文对往复真空泵抽速测试装置中的喷咀几何型线，抽速计算公式中的修正系数——流量系数α、气体膨胀系数ε作了理论的分析。