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利用双光子聚合在非透明基底上制备微结构
被引量:
2
1
作者
胡绪瑞
陈达
+1 位作者
王刚
陶卫东
《宁波大学学报(理工版)》
CAS
2019年第5期85-90,共6页
在不改变双光子聚合微加工设备结构的基础上,介绍了利用环绕字母数字螺旋塔,在以铜片和硅片为代表的2种非透明基底上进行光刻,根据所光刻的图案,分别得出在铜片和硅片上的有效光刻距离区间以及最佳光刻距离,总结出成熟的非透明基底上光...
在不改变双光子聚合微加工设备结构的基础上,介绍了利用环绕字母数字螺旋塔,在以铜片和硅片为代表的2种非透明基底上进行光刻,根据所光刻的图案,分别得出在铜片和硅片上的有效光刻距离区间以及最佳光刻距离,总结出成熟的非透明基底上光刻微结构的方法,分别在2种不透明基底上光刻二维和三维立体图案,清晰的图案说明在非透明基底上光刻方法有效可行.研究结果可为诸多双光子聚合设备在非透明基底上光刻提供参考,并有助于双光子聚合在光学微器件、微机电系统、生物组织工程等领域发挥更大的作用.
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关键词
飞秒激光
双光子聚合
非透明基底
光刻
微结构
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职称材料
用半导体激光器作为光源改进普朗克常数测定仪
被引量:
2
2
作者
赵加强
胡绪瑞
《激光杂志》
北大核心
2015年第11期83-85,共3页
光电效应法测定普朗克常数是目前大多数高校近代物理或光学实验中开设的实验,但所用设备有很多缺陷,如高压汞灯寿命短,汞灯电源稳压模块容易烧坏,设备操作较复杂等。用小功率半导体激光器替换高压汞灯对仪器进行改进可以解决这些问题,...
光电效应法测定普朗克常数是目前大多数高校近代物理或光学实验中开设的实验,但所用设备有很多缺陷,如高压汞灯寿命短,汞灯电源稳压模块容易烧坏,设备操作较复杂等。用小功率半导体激光器替换高压汞灯对仪器进行改进可以解决这些问题,并具有功耗小,寿命长,性能稳定等优点。
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关键词
激光光学
普朗克常数测定仪
高压汞灯
半导体激光器
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职称材料
硅基石墨烯纳米墙的制备及其湿度传感器的应用
3
作者
张楠
李久荣
+3 位作者
向鹏程
胡绪瑞
陈达
王刚
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第1期59-63,共5页
本研究介绍了在较低的温度条件下,利用等离子体增强化学气相沉积法成功实现在单晶硅衬底上生长高质量石墨烯纳米墙。系统地研究了生长温度、生长时间及射频功率等对硅基石墨烯纳米墙微观结构的影响。利用包括拉曼光谱在内的多项技术表...
本研究介绍了在较低的温度条件下,利用等离子体增强化学气相沉积法成功实现在单晶硅衬底上生长高质量石墨烯纳米墙。系统地研究了生长温度、生长时间及射频功率等对硅基石墨烯纳米墙微观结构的影响。利用包括拉曼光谱在内的多项技术表征石墨烯纳米墙的质量及尺寸大小。研究发现随着温度升高、生长时间延长和射频功率增大,石墨烯纳米墙的密度和尺寸也随之增大。通过优化工艺条件,成功制备出高密度、大尺寸、均一的硅基石墨烯纳米墙材料。并且,高质量的石墨烯纳米墙超大比表面积及大量晶界堆叠形成的缺陷大幅提升了湿度传感器的性能。
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关键词
石墨烯纳米墙
等离子体增强气相沉积(PECVD)
湿度传感器
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职称材料
题名
利用双光子聚合在非透明基底上制备微结构
被引量:
2
1
作者
胡绪瑞
陈达
王刚
陶卫东
机构
宁波大学物理科学与技术学院
出处
《宁波大学学报(理工版)》
CAS
2019年第5期85-90,共6页
基金
国家自然科学基金(11704204,61604084)
浙江省新苗人才计划(2018R405065)
文摘
在不改变双光子聚合微加工设备结构的基础上,介绍了利用环绕字母数字螺旋塔,在以铜片和硅片为代表的2种非透明基底上进行光刻,根据所光刻的图案,分别得出在铜片和硅片上的有效光刻距离区间以及最佳光刻距离,总结出成熟的非透明基底上光刻微结构的方法,分别在2种不透明基底上光刻二维和三维立体图案,清晰的图案说明在非透明基底上光刻方法有效可行.研究结果可为诸多双光子聚合设备在非透明基底上光刻提供参考,并有助于双光子聚合在光学微器件、微机电系统、生物组织工程等领域发挥更大的作用.
关键词
飞秒激光
双光子聚合
非透明基底
光刻
微结构
Keywords
femtosecond laser
two-photon polymerization
non-transparent substrate
photolithography
microstructure
分类号
O437 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
用半导体激光器作为光源改进普朗克常数测定仪
被引量:
2
2
作者
赵加强
胡绪瑞
机构
潍坊学院物理与光电工程学院
出处
《激光杂志》
北大核心
2015年第11期83-85,共3页
基金
山东省自然科学基金(ZR2013FM001)
山东省科技发展计划(2011YD01049
+1 种基金
2013YD01016)
山东省大型科学仪器设备升级改造技术研究项目(2013SJGZ10)
文摘
光电效应法测定普朗克常数是目前大多数高校近代物理或光学实验中开设的实验,但所用设备有很多缺陷,如高压汞灯寿命短,汞灯电源稳压模块容易烧坏,设备操作较复杂等。用小功率半导体激光器替换高压汞灯对仪器进行改进可以解决这些问题,并具有功耗小,寿命长,性能稳定等优点。
关键词
激光光学
普朗克常数测定仪
高压汞灯
半导体激光器
Keywords
laser optics
planck constant instrument
high pressure mercury lamp
semiconductor laser
分类号
TN248.4 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
硅基石墨烯纳米墙的制备及其湿度传感器的应用
3
作者
张楠
李久荣
向鹏程
胡绪瑞
陈达
王刚
机构
宁波大学理学院微电子科学与工程系
出处
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第1期59-63,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(61604084,11704204,51602056)
文摘
本研究介绍了在较低的温度条件下,利用等离子体增强化学气相沉积法成功实现在单晶硅衬底上生长高质量石墨烯纳米墙。系统地研究了生长温度、生长时间及射频功率等对硅基石墨烯纳米墙微观结构的影响。利用包括拉曼光谱在内的多项技术表征石墨烯纳米墙的质量及尺寸大小。研究发现随着温度升高、生长时间延长和射频功率增大,石墨烯纳米墙的密度和尺寸也随之增大。通过优化工艺条件,成功制备出高密度、大尺寸、均一的硅基石墨烯纳米墙材料。并且,高质量的石墨烯纳米墙超大比表面积及大量晶界堆叠形成的缺陷大幅提升了湿度传感器的性能。
关键词
石墨烯纳米墙
等离子体增强气相沉积(PECVD)
湿度传感器
Keywords
graphene nanowalls
plasma-enhanced chemical vapor deposition
humidity sensing
分类号
O613.71 [理学—无机化学]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用双光子聚合在非透明基底上制备微结构
胡绪瑞
陈达
王刚
陶卫东
《宁波大学学报(理工版)》
CAS
2019
2
下载PDF
职称材料
2
用半导体激光器作为光源改进普朗克常数测定仪
赵加强
胡绪瑞
《激光杂志》
北大核心
2015
2
下载PDF
职称材料
3
硅基石墨烯纳米墙的制备及其湿度传感器的应用
张楠
李久荣
向鹏程
胡绪瑞
陈达
王刚
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020
0
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职称材料
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