期刊文献+
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
面向MEMS质谱仪离子源的场发射针尖阵列研制及性能
1
作者 吴章旭 程玉鹏 +5 位作者 李山 朱五林 沈琛 胡郑蕊 徐椿景 陈池来 《微纳电子技术》 CAS 2024年第9期100-107,共8页
针对微电子机械系统(MEMS)质谱仪应用中对高工作气压和高电子电流的需求,同时保持MEMS技术在体积和质量上的优势,研制了一种用于MEMS质谱仪离子源的基于场发射原理的针尖阵列。通过MEMS加工技术实现了最大44个/mm^(2)的针尖密度,并在4和... 针对微电子机械系统(MEMS)质谱仪应用中对高工作气压和高电子电流的需求,同时保持MEMS技术在体积和质量上的优势,研制了一种用于MEMS质谱仪离子源的基于场发射原理的针尖阵列。通过MEMS加工技术实现了最大44个/mm^(2)的针尖密度,并在4和6英寸(1英寸=2.54 cm)的硅基晶圆上完成平行批量制造。实验结果显示,1600个针尖组成的阵列在3.4×10^(-3)Pa气压下最大发射电流达到1.28 mA,在23.71 Pa的气压下达到92.93μA,同时单片集成结构使其具备与永磁体结合的放电增强能力,磁场下针尖阵列的最大放电电流提升175.79%。初步的测试结果证实了场发射针尖阵列作为离子源在MEMS质谱仪中的应用潜力。 展开更多
关键词 质谱仪 微电子机械系统(MEMS) 针尖阵列 离子源 场发射 电子发射
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部