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优质InAsSb/GaAs材料的MBE生长
1
作者
曾林飞
邱绍雄
+5 位作者
杨恒青
黄长河
胡刚
胡鑫根
顾春林
宗祥福
《半导体情报》
1991年第6期26-27,共2页
研究了InAsSb/GaAs材料生长过程中,各种参数对材料质量的影响。优化了生长参数,获得了优质的InAsSb/GaAs材料。采用x射线双晶衍射、红外透射、霍耳测量等手段研究了材料的性能,并制作了光导红外探测器,探测率D可达3×10~9cmHz^(1/2)...
研究了InAsSb/GaAs材料生长过程中,各种参数对材料质量的影响。优化了生长参数,获得了优质的InAsSb/GaAs材料。采用x射线双晶衍射、红外透射、霍耳测量等手段研究了材料的性能,并制作了光导红外探测器,探测率D可达3×10~9cmHz^(1/2)。W^(-1)。
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关键词
分子束外延
化合物半导体
检测器
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职称材料
题名
优质InAsSb/GaAs材料的MBE生长
1
作者
曾林飞
邱绍雄
杨恒青
黄长河
胡刚
胡鑫根
顾春林
宗祥福
机构
复旦大学材料科学研究所
出处
《半导体情报》
1991年第6期26-27,共2页
文摘
研究了InAsSb/GaAs材料生长过程中,各种参数对材料质量的影响。优化了生长参数,获得了优质的InAsSb/GaAs材料。采用x射线双晶衍射、红外透射、霍耳测量等手段研究了材料的性能,并制作了光导红外探测器,探测率D可达3×10~9cmHz^(1/2)。W^(-1)。
关键词
分子束外延
化合物半导体
检测器
分类号
TN304.26 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
优质InAsSb/GaAs材料的MBE生长
曾林飞
邱绍雄
杨恒青
黄长河
胡刚
胡鑫根
顾春林
宗祥福
《半导体情报》
1991
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