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优质InAsSb/GaAs材料的MBE生长
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作者 曾林飞 邱绍雄 +5 位作者 杨恒青 黄长河 胡刚 胡鑫根 顾春林 宗祥福 《半导体情报》 1991年第6期26-27,共2页
研究了InAsSb/GaAs材料生长过程中,各种参数对材料质量的影响。优化了生长参数,获得了优质的InAsSb/GaAs材料。采用x射线双晶衍射、红外透射、霍耳测量等手段研究了材料的性能,并制作了光导红外探测器,探测率D可达3×10~9cmHz^(1/2)... 研究了InAsSb/GaAs材料生长过程中,各种参数对材料质量的影响。优化了生长参数,获得了优质的InAsSb/GaAs材料。采用x射线双晶衍射、红外透射、霍耳测量等手段研究了材料的性能,并制作了光导红外探测器,探测率D可达3×10~9cmHz^(1/2)。W^(-1)。 展开更多
关键词 分子束外延 化合物半导体 检测器
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