加强农业科研管理创新,助力乡村振兴

乡村振兴战略是新时代中国农业农村改革与发展的重要战略,通过对当下乡村振兴工作中的重点、难点问题进行剖析,了解国家对乡村振兴战略给予的政策支持,明确阻碍战略实施的有效因素,提出建章立制做引导、重视考核激励措施、牢固农业科研基础、创新“互联网+乡村”模式、对标国际成功经验等加强科研管理方面的建议,助力乡村振兴战略顺利实施。

新型碱性抛光液各组分对铜化学机械平坦化性能的影响

随着集成电路特征尺寸的减小、晶圆尺寸的增大以及布线层的逐渐增多,加工晶圆过程中实现较高的材料去除速率、较小的片内非一致性(WIWNU)及较小的表面粗糙度已经成为铜化学机械抛光工艺的几大难点。采用正交实验法选取5组抛光液进行Cu CMP实验,系统研究了含有双氧水、脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO)、FA/OⅠ型螯合剂与苯骈三氮唑(BTA)的碱性抛光液化学组分对铜去除速率、WIWNU的影响,并对铜CMP的各种变化规律做出机理分析。结果表明:采用pH值约为8.6,体积分数为3%的H_2O_2,质量分数为0.08%的非离子表面活性剂AEO与体积分数为1.5%的螯合剂的碱性抛光液,在12英寸(1英寸=2.54 cm)铜镀膜片抛光后有助于去除速率达到629.1 nm/min,片内非一致性达到4.7%,粗糙度达到1.88 nm。