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一种单腔式微型隔膜泵的结构设计及流量分析 被引量:2
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作者 何云鹏 郅静刚 +1 位作者 臧辰鑫 蔺增 《真空》 CAS 2016年第6期12-14,共3页
针对市场的实际需求,设计研制了一台流量为200mL/min的单腔式微型隔膜泵,文章介绍了流量设计计算的基本原理和泵的结构组成,利用搭建的微型泵流量测试平台进行了测试。结果表明不同电压下隔膜泵的出气速率随电压成线性关系,所设计的微... 针对市场的实际需求,设计研制了一台流量为200mL/min的单腔式微型隔膜泵,文章介绍了流量设计计算的基本原理和泵的结构组成,利用搭建的微型泵流量测试平台进行了测试。结果表明不同电压下隔膜泵的出气速率随电压成线性关系,所设计的微型隔膜泵流量控制稳定,可靠性较高。 展开更多
关键词 微型隔膜泵 气体采样 抽速测试
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