硅外延片表面微缺陷分析方法研究

本文主要对硅外延片表面微缺陷分析方法进行研究,通过配置一定比例的重铬酸钾及氢氟酸腐蚀液,严格按照试验方法的操作步骤对硅外延片进行处理,采用偏光金相显微镜进行分析,可以清晰的看到硅外延片表面的微缺陷。

X射线衍射法分析球形二氧化硅微粉中α态晶体二氧化硅含量

本文采用了X射线衍射仪对高温熔融喷射法制备的球形二氧化硅微粉中α态晶体二氧化硅含量的测试方法进行了研究,实验原料选择二氧化硅含量大于99.99%的高质量水晶及中国某著名企业生产的无定形球形硅微粉,按比例混合配置标准样品,利用X射线衍射仪进行分析。该方法可以快速分析高温熔融喷射法制备的球形二氧化硅微粉中是否存在α态二氧化硅的含量。