基于射频磁控溅射法制备ZnO薄膜研究

研究射频磁控溅射法制备ZnO薄膜,采用X射线衍射仪(XRD)和场发射扫描电子显微镜(SEM)研究溅射功率、溅射时间和退火温度对薄膜微结构特性的影响,并分析ZnO薄膜阻变特性。实验结果表明,沉积态薄膜择优取向为〈002〉晶向,随溅射功率和退火温度增加,择优取向显著增强,溅射功率120 W时薄膜生长速率可达4.8 nm/min,薄膜厚度92 nm的ZnO薄膜具有阻变特性且开关比可达104。

新形势下微电子工艺实验教学改革研究

文章探讨了在新工科建设的新形势下,如何突出黑龙江大学微电子专业微电子器件方向的特色,在现有的微电子工艺实验条件下,将过去的传统、分立实验进行改革,建立一个创新型实验教学体系,从而使学生更牢固地掌握微电子器件及简单集成电路的整个工艺制造技术和测试方法。激发学生主动参与,突出创新能力的培养,创造良好的实验平台。

光电专业实验教学改革研究

本文基于对我校光电专业实验教学进行的研究与探索,从课程设置、实验内容与实验室开放几个方面进行分析,提出了相应的改革措施。结合我们在实际实验教学中所进行的一些探索,希望可以给光电专业的教与学带来益处。

基于翻转课堂的数字集成电路设计实验教学方法研究——以黑龙江大学为例

以黑龙江大学为例,对基于翻转课堂的数字集成电路设计实验教学方法进行研究。目前,实验教学方法有待改进,实验课程内容相对简单,实验课程考核机制单一,应通过课堂翻转,提升学生学习质量,对实验课程内容和模式进行改革,完善考核机制,注重学生创新能力培养,以增强学生的学习效果,深层次理解所学知识,提高实践能力。