大平面平面度测量系统

本文提出一种新的高精度大型平面扫描仪。利用双光束补偿系统，扫描头由一特殊光路组成。当入射光发生角漂或扫描头发生摆动等，输出的两束光发生对称上下漂移，其中心线扫描形成的基准平面保持不变。测量不确定度小于２．５×１０－６。

双光束补偿扫描系统

提出一种新的高精度大型平面扫描仪。利用双光束补偿系统，扫描头由一特殊光路组成。当入射光通过此光路后，产生对称输出的两束光。当入射光发生角漂或扫描头发生摆动时，输出的两束光对称上下漂移，其中心线保持不变，故扫描形成的基准面保持不变，从而大大提高了测量精度。经实验证明，测量精度优于2．5×10－6。