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离子能量筛选器仿真设计
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作者 张骏林 苏俊宏(导师) +2 位作者 郭亮 李建超 万文博 《光学与光电技术》 2022年第1期108-114,共7页
离子源作为一种离子束发射装置,常用于光学薄膜的制备中,但离子束中包含各种能量的离子,在光学薄膜制备过程中严重影响着薄膜成型后的微观结构和性能。针对目前国内外离子源普遍存在输出能谱过宽的缺点,以电磁场理论为基础,并对各能级... 离子源作为一种离子束发射装置,常用于光学薄膜的制备中,但离子束中包含各种能量的离子,在光学薄膜制备过程中严重影响着薄膜成型后的微观结构和性能。针对目前国内外离子源普遍存在输出能谱过宽的缺点,以电磁场理论为基础,并对各能级的离子运动轨迹进行了仿真分析,设计了一种离子能量筛选器,仿真结果表明,经过筛选器筛选后能有效剔除过高和过低能量的离子,偏离中心离子能量负100 eV的筛选率,已达到82.24%,在光学薄膜制备领域中具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 离子源 离子能量 筛选器 离子束辅助沉积 有限元仿真
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