基于ESP32的激光器控制系统设计

阐述针对激光退火设备中对多种类型激光器控制需求及安全保护,设计一套激光器控制系统。设计基于ESP32主控芯片,集成2.4GHz Wi-Fi和蓝牙双模的单芯片方案,采用台积电超低功耗的40nm工艺,具有超高的射频性能、稳定性、通用性和可靠性。Wi-Fi和蓝牙等通信传输功能,更加适配未来的工业互联网模式,同时主控芯片具有丰富的数字模拟输入输出接口资源以及丰富的I2C/SPI等总线通讯方式,适用于各种应用场景。

基于激光位移传感器的预对准方法分析

阐述设计的一种基于高精度激光位移传感器实现预对准的方法,并分析晶圆边缘扫描特征对晶圆圆心定位精度误差的主要影响因素。为进一步探究原因,同时测试工件台水平度、采样频率和扫描路径对晶圆扫描结果的影响,验证了使用激光位移传感器实现激光退火前预对准的有效性、稳定性。