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磁控溅射Nb掺杂TiO_2薄膜的研究
被引量:
2
1
作者
辛荣生
苏雷生
+1 位作者
林钰
姚志强
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期521-526,共6页
用射频/直流溅射法研制了铌掺杂TiO_2透明导电薄膜。实验结果表明:Nb以正五价态掺入TiO_2晶格中,随着Nb掺杂量的逐渐增加,薄膜的电阻率出现先降后升的变化,在掺杂溅射功率为40 W时,薄膜电阻率降至7.3×10-4Ω·cm,可见光透过率...
用射频/直流溅射法研制了铌掺杂TiO_2透明导电薄膜。实验结果表明:Nb以正五价态掺入TiO_2晶格中,随着Nb掺杂量的逐渐增加,薄膜的电阻率出现先降后升的变化,在掺杂溅射功率为40 W时,薄膜电阻率降至7.3×10-4Ω·cm,可见光透过率高达86%以上。并且,Nb掺杂使TiO_2薄膜的吸收限产生了蓝移,随着Nb掺杂量的增加,薄膜蓝移程度逐渐增大,说明该TiO_2薄膜为n型掺杂。研究认为,控制Nb掺杂量达最佳时,使晶格中产生较多的载流子,以及良好晶体结构产生较大的载流子迁移率,能使Nb掺杂TiO_2透明导电薄膜的性能参数得到有效改善。
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关键词
磁控溅射
Nb掺杂
TIO2薄膜
结构
光电性能
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职称材料
氧含量对磁控溅射Nb掺杂TiO_2薄膜结构与性能的影响
被引量:
2
2
作者
辛荣生
林钰
+1 位作者
董林
苏雷生
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期255-259,共5页
采用三靶磁控共溅射法在玻璃衬底上制备了Nb掺杂TiO_2透明导电薄膜。研究了在不同氧含量时薄膜的结构和光电性能。实验结果表明:氧含量的变化能改变Nb掺杂TiO_2薄膜晶体的晶粒尺寸、表面形貌、透光率和电阻率,当溅射氩气中通入2%氧气时...
采用三靶磁控共溅射法在玻璃衬底上制备了Nb掺杂TiO_2透明导电薄膜。研究了在不同氧含量时薄膜的结构和光电性能。实验结果表明:氧含量的变化能改变Nb掺杂TiO_2薄膜晶体的晶粒尺寸、表面形貌、透光率和电阻率,当溅射氩气中通入2%氧气时,可得到性能最佳的锐钛矿相Nb掺杂TiO_2薄膜,所得薄膜可见光透过率高达80%,电阻率降至2.5×10^(-3)Ωcm。并且,Nb掺杂导致了TiO_2薄膜的吸收限产生蓝移,且蓝移程度随氧含量的改变而有所不同。研究认为,氧含量改变了Nb掺杂TiO_2薄膜晶体的结构形貌以及Nb杂质和氧空位提供的有效载流子浓度,从而直接影响了Nb掺杂TiO_2薄膜的光电性能。
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关键词
磁控溅射
氧含量
NTO薄膜
结构
光电性能
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职称材料
退火温度对Nb掺杂TiO_2薄膜结构与性能的影响
被引量:
1
3
作者
苏雷生
林钰
+1 位作者
董林
辛荣生
《郑州大学学报(工学版)》
CAS
北大核心
2018年第2期86-91,共6页
采用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了Nb掺杂TiO_2透明导电薄膜,通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见光谱(UV-Vis)及双电测四探针仪对薄膜的结构和性能进行了表征.结果表明:退火温度250℃以上时,得到锐钛矿相Nb掺杂TiO_2薄膜...
采用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了Nb掺杂TiO_2透明导电薄膜,通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见光谱(UV-Vis)及双电测四探针仪对薄膜的结构和性能进行了表征.结果表明:退火温度250℃以上时,得到锐钛矿相Nb掺杂TiO_2薄膜,且薄膜结构和光电性能随温度升高而改善;300℃时薄膜可见光透过率最高可达80%,电阻率降至2.5×10-3Ω·cm;当温度升至350℃时,薄膜晶体开始出现金红石相,光电性能也随之下降.另外,Nb掺杂有利于降低TiO_2薄膜晶体的晶相转变温度;掺杂后TiO_2薄膜的吸收限发生蓝移现象,并且随着退火温度改变,薄膜吸收限产生蓝移的程度有所不同.
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关键词
温度
Nb掺杂
TO2薄膜
结构
光电性能
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职称材料
太阳能电池用FTO/NTO复合薄膜的研究
4
作者
辛荣生
林钰
+1 位作者
李慧灵
苏雷生
《河南教育学院学报(自然科学版)》
2019年第1期59-62,共4页
采用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了FTO/NTO复合薄膜.通过紫外可见光谱(UV-vis)、双电测四探针仪和电化学工作站对薄膜的光电性能进行表征,测量并分析了NTO阻挡层(兼作传输层)厚度改变对FTO/NTO复合薄膜组装器件光电性能的影响.实验结果...
采用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了FTO/NTO复合薄膜.通过紫外可见光谱(UV-vis)、双电测四探针仪和电化学工作站对薄膜的光电性能进行表征,测量并分析了NTO阻挡层(兼作传输层)厚度改变对FTO/NTO复合薄膜组装器件光电性能的影响.实验结果表明:阻挡层厚度的变化能改变光生载流子的寿命,当NTO薄膜厚度为90 nm时,光生载流子寿命最高,阻挡层抑制光生载流子复合的效果最好; FTO/NTO复合薄膜的可见光透过率可达84%以上,同时能满足正向电子传输的导电要求.
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关键词
磁控溅射
FTO/NTO复合薄膜
NTO薄膜厚度
阻挡层
光电性能
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职称材料
题名
磁控溅射Nb掺杂TiO_2薄膜的研究
被引量:
2
1
作者
辛荣生
苏雷生
林钰
姚志强
机构
郑州大学材料科学与工程学院
河南教育学院化学系
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期521-526,共6页
基金
河南省科技攻关项目资助(142102210068)
文摘
用射频/直流溅射法研制了铌掺杂TiO_2透明导电薄膜。实验结果表明:Nb以正五价态掺入TiO_2晶格中,随着Nb掺杂量的逐渐增加,薄膜的电阻率出现先降后升的变化,在掺杂溅射功率为40 W时,薄膜电阻率降至7.3×10-4Ω·cm,可见光透过率高达86%以上。并且,Nb掺杂使TiO_2薄膜的吸收限产生了蓝移,随着Nb掺杂量的增加,薄膜蓝移程度逐渐增大,说明该TiO_2薄膜为n型掺杂。研究认为,控制Nb掺杂量达最佳时,使晶格中产生较多的载流子,以及良好晶体结构产生较大的载流子迁移率,能使Nb掺杂TiO_2透明导电薄膜的性能参数得到有效改善。
关键词
磁控溅射
Nb掺杂
TIO2薄膜
结构
光电性能
Keywords
Magnetron sputtering
Nb-doped
TiO2 thin film
Structure
Photoelectric property
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
氧含量对磁控溅射Nb掺杂TiO_2薄膜结构与性能的影响
被引量:
2
2
作者
辛荣生
林钰
董林
苏雷生
机构
郑州大学材料科学与工程学院
河南教育学院化学系
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期255-259,共5页
基金
河南省科技攻关项目资助(142102210068)
文摘
采用三靶磁控共溅射法在玻璃衬底上制备了Nb掺杂TiO_2透明导电薄膜。研究了在不同氧含量时薄膜的结构和光电性能。实验结果表明:氧含量的变化能改变Nb掺杂TiO_2薄膜晶体的晶粒尺寸、表面形貌、透光率和电阻率,当溅射氩气中通入2%氧气时,可得到性能最佳的锐钛矿相Nb掺杂TiO_2薄膜,所得薄膜可见光透过率高达80%,电阻率降至2.5×10^(-3)Ωcm。并且,Nb掺杂导致了TiO_2薄膜的吸收限产生蓝移,且蓝移程度随氧含量的改变而有所不同。研究认为,氧含量改变了Nb掺杂TiO_2薄膜晶体的结构形貌以及Nb杂质和氧空位提供的有效载流子浓度,从而直接影响了Nb掺杂TiO_2薄膜的光电性能。
关键词
磁控溅射
氧含量
NTO薄膜
结构
光电性能
Keywords
Magnetron sputtering
Oxygen content
NTO thin film
Structure
Photoelectric property
分类号
O484 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
退火温度对Nb掺杂TiO_2薄膜结构与性能的影响
被引量:
1
3
作者
苏雷生
林钰
董林
辛荣生
机构
郑州大学材料科学与工程学院
河南教育学院化学系
出处
《郑州大学学报(工学版)》
CAS
北大核心
2018年第2期86-91,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(11674290)
河南省科技厅科技攻关资助项目(142102210068)
文摘
采用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了Nb掺杂TiO_2透明导电薄膜,通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见光谱(UV-Vis)及双电测四探针仪对薄膜的结构和性能进行了表征.结果表明:退火温度250℃以上时,得到锐钛矿相Nb掺杂TiO_2薄膜,且薄膜结构和光电性能随温度升高而改善;300℃时薄膜可见光透过率最高可达80%,电阻率降至2.5×10-3Ω·cm;当温度升至350℃时,薄膜晶体开始出现金红石相,光电性能也随之下降.另外,Nb掺杂有利于降低TiO_2薄膜晶体的晶相转变温度;掺杂后TiO_2薄膜的吸收限发生蓝移现象,并且随着退火温度改变,薄膜吸收限产生蓝移的程度有所不同.
关键词
温度
Nb掺杂
TO2薄膜
结构
光电性能
Keywords
temperature
Nb-doped
TiO 2 thin film
structure
photoelectric property
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
太阳能电池用FTO/NTO复合薄膜的研究
4
作者
辛荣生
林钰
李慧灵
苏雷生
机构
郑州大学材料科学与工程学院
河南财政金融学院(龙子湖校区)化学与环境学院
出处
《河南教育学院学报(自然科学版)》
2019年第1期59-62,共4页
基金
河南省科技攻关项目(142102210068)
文摘
采用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了FTO/NTO复合薄膜.通过紫外可见光谱(UV-vis)、双电测四探针仪和电化学工作站对薄膜的光电性能进行表征,测量并分析了NTO阻挡层(兼作传输层)厚度改变对FTO/NTO复合薄膜组装器件光电性能的影响.实验结果表明:阻挡层厚度的变化能改变光生载流子的寿命,当NTO薄膜厚度为90 nm时,光生载流子寿命最高,阻挡层抑制光生载流子复合的效果最好; FTO/NTO复合薄膜的可见光透过率可达84%以上,同时能满足正向电子传输的导电要求.
关键词
磁控溅射
FTO/NTO复合薄膜
NTO薄膜厚度
阻挡层
光电性能
Keywords
magnetron sputtering
FTO/NTO composite film
NTO film thickness
barrier layer
photoelectric property
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁控溅射Nb掺杂TiO_2薄膜的研究
辛荣生
苏雷生
林钰
姚志强
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
2
下载PDF
职称材料
2
氧含量对磁控溅射Nb掺杂TiO_2薄膜结构与性能的影响
辛荣生
林钰
董林
苏雷生
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
2
下载PDF
职称材料
3
退火温度对Nb掺杂TiO_2薄膜结构与性能的影响
苏雷生
林钰
董林
辛荣生
《郑州大学学报(工学版)》
CAS
北大核心
2018
1
下载PDF
职称材料
4
太阳能电池用FTO/NTO复合薄膜的研究
辛荣生
林钰
李慧灵
苏雷生
《河南教育学院学报(自然科学版)》
2019
0
下载PDF
职称材料
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