光致抗蚀剂曝光的虚膜插入模拟技术

提出了在各膜层之间插入虚膜的计算方法 ,导出了相应的光学薄膜传输矩阵 .该方法使得膜与膜之间解耦 ,并便于在计算机上存储和计算薄膜的反射率、透射率以及能流密度 .对抗蚀剂曝光的计算结果表明这种技术是有效的 .

用时间-边界跟踪模型确定抗蚀剂显影后的轮廓分布

文章提出了时间一边界跟踪模型的定义，阐述了用该模型确定抗蚀剂显影后的轮廓分布的方法，并给出了模拟计算结果．

投影光刻技术的计算机模拟研究

投影光刻技术的计算机模拟分为三部分：空间像强度分布计算，曝光计算和显影计算。本文分别讨论了各部分数学模型的建立，计算方法及特点，并给出了一些研究结果。

振荡器时变相位噪声分析技术研究进展

介绍了两种射频振荡器的时变相位噪声模型:Demir&Mehrotra的非线性扰动模型和Hajimiri&Lee的时变相位噪声模型。对一个简单的非线性电导LC振荡器,分别建立了这两种模型,并指出了两种模型的联系和区别。讨论了两种模型的计算方法,介绍了在EDA软件HSpice和SpectreRF下,以及频域中相位噪声的计算问题。最后,进一步讨论了时变相位噪声,指出相位噪声分析的难点和未来的发展方向。

微细图形光刻计算机模拟软件

本文介绍了新近开发成功的ＢＥＨＡＶＥ软件。该软件具有良好的交互式界面，全面高效的计算模拟功能，是研究探讨微细图形光刻中的驻波效应以及整个微细图形光刻工艺计算模拟的强有力工具。

离轴照明成像研究

本文阐述了离轴照明提高曝光分辨率和增加焦深的原理，应用Ｈｏｐｋｉｎｓ理论研究了其成像特性。给出了两种离轴照明方式──四极照明和环形照明下的空间像分布，并和传统照明方式下的空间像分布作比较。计算结果说明，采用离轴照明使得曝光分辨率和焦深得到了很大的提高。

强化炉窑管理是企业节能的关键

一、加强工业炉窑管理的重要性 炉窑是工业企业中耗能最大的设备。目前全国共有各种炉窑12万台,年总耗能1.6亿吨标准煤,占全国总能耗的四分之一。其中,机械行业的炉窑数量最多,达7.6万台,占全国炉窑总数的60％,年耗能量达3 000万吨标准煤。机械行业中的一些大型企业,95％以上的煤气和50％以上的电都被炉窑“吃掉”;有的厂支出的能源费用占成本的10～20％。而另一方面,能源的利用率仍很低,产品的单耗高。例如,以产品的单位重量可比消耗计算,我国机械行业的加热炉单耗为日本的2.7倍、热处理炉单耗为日本的4倍。以1千美元产值消耗的标准煤比较,日、法、英、西德为340～450公斤,苏联为800公斤,我国却高达3吨。 综上所述,我国工业炉窑的“视在节能潜力”是很大的。要挖掘出这些潜力,有两条途径:第一是靠设备和技术,即所谓“硬途径”,第二是靠管理,即所谓“软途径”。“硬途径”

微光刻中的驻波效应研究

本文阐述了驻波效应的成因及其对微细图形光刻，特别是对深亚微米和亚半微米光刻的影响；分析了驻波强度分布；根据抗蚀剂的物理和化学机制，建立了抗蚀剂显影过程的数学和物理模型，并开展了计算机模拟和光刻曝光实验；研究了减小驻波效应的方法；给出了部分模拟和实验结果。

辛集市工业流动资金短缺的现状原因及对策

时下,资金短缺已成为我市经济发展的一个难题。根据市委意见,我们先后到市计经委等有关单位,进行了调查,并分析了原因,提出了一些对策。 一、流动资金短缺的现状 今年,我市要完成实现工业产值11.7亿元,比上年增1.

激光测距卫星的质心改正模型

卫星质心改正值 (简称 Co M,Center-of-Mass)是卫星激光测距系统中的一个重要参量 ,准确估算该参量有助于提高卫星激光测距精度 .本文以 Lageos卫星为例 ,应用概率理论以及卫星上的角反射器对光子的反射概率与反射器的光学截面成正比 ,建立了球形激光卫星的 Co M数学模型 ,并计算了几颗球形卫星的 Co M值 ,还对一般的情况进行了讨论 .

激光测距卫星的点扩展函数研究

本文将非相干成象系统的点扩展函数概念引入到激光测距系统 ,详细推导出激光测距卫星的点扩展函数的基本形式 ,并分别计算了 Lageos和 ERS卫星的点扩展函数以及脉冲和点扩展函数作用后的强度分布 ,取得了非常好的结果 .

SPAD的时间响应特性及其在激光测距中的应用

:首先从 SPAD工作的物理机制出发 ,分析了 SPAD的时间响应特性 ,然后根据卫星激光测距原理 ,说明 SPAD在卫星激光测距中的应用。通过描述 SPAD时间响应特性的两个参数 ,分析SPAD的该特性对卫星激光测距精度的影响 ,并探讨减小这些影响的方法。最后给出上海天文台用于卫星激光测距的 SPAD的时间响应特性和经补偿后 SPAD的 Time

金刚石薄膜半导体器件

介绍了金刚石薄膜的性质、当今金刚石薄膜半导体器件的技术、水平和性能。分析了金刚石薄膜作为半导体器件的优异性能、金刚石相对于硅的半导体器件性能的改善和存在的问题，并指出实现金刚石薄膜半导体器件的障碍。

用点扩展函数确定卫星反射后的脉冲强度

卫星激光测距系统是一个非相干成象光学系统。卫星形状效应是由于卫星上不同位置的反射器对光子反射的时间不同而引起的脉冲强度重新分布的现象。非相干成象系统在等晕区内是空间不变性的光强线性系统。成象光学系统中象强度等于输入物强度与光瞳点扩展函数的卷积。用卫星的点扩展函数描述卫星形状效应 ,能非常简便地计算出被卫星反射后的脉冲强度分布。讨论了激光测距卫星的点扩展函数的求解方法和表达形式 ,并分别推导和计算了

智能电机节电系统的原理和实现

讨论了晶闸管移相调压实现电机减压节能的原理和方法 ,并介绍了用微控制器控制晶闸管移相的智能电机节电系统 ,测试结果表明该系统具有良好的节电性能。

一个充满生机的股份合作制农业企业

永丰蔬菜场,是河北省辛集市新垒头村赵和平等17户农民自愿联合创办的一家股份合作制农业企业。十多年来,该场经过艰苦创业和积极探索,率先走出了一条"风险共担,利益均沾,股份合作,共同富裕"的新路子,发展成了一个生产专业化、管理企业化、经营一体化的"农"字号股份合作制企业。目前,这个农业企业拥有大棚菜40亩,果树26亩,粮田10亩,员工35人,固定资产160余万元。1993年,共产蔬菜65万公斤,果品6万公斤,粮食1万多公斤,总收入40多万元,劳均收入3000多元。"永丰"的形式及做法永丰蔬菜场创办于1984年10月,当初入股的有27户,后退出10户。

正则扰动下周期时变系数矩阵Sylvester表示的振荡器相位噪声分析方法

振荡器的相位噪声分析是通过扰动自激大信号状态方程,导出周期时变小信号状态方程进行的.在振荡器的时域稳态解上应用传统的正则扰动方法,对周期时变系数Jacobi矩阵按照Sylvester定理进行分解,在它的周期向量构成的空间上,分析振荡器在扰动下能保持周期稳态的条件;注入表示白噪声的频域伪正弦信号和时域δ相关信号,应用随机微分方法,揭示相位噪声的产生过程,计算相位抖动;应用调频的原理分析幂律谱和Lorentz谱的形成以及它们之间的关系,并获得包含谐波的Lorentz功率谱.以周期系数Jacobi矩阵为基础,构造简单的计算Floquet指数和相位噪声的算法流程并给出简单实例.最后指出振荡器相位噪声分析的难点和发展方向.

卫星激光测距中激光脉冲波形变化的理论分析及数值计算

分析了激光测距中脉冲波形变化的物理过程 ,给出了该变化的数学描述 ,讨论了脉冲波形变化对卫星质心改正 (CoM)和测距精度 (RMS)的影响 ,并对上述变化和影响进行了数值计算 .计算结果揭示了激光脉冲波形在各种因素影响下产生变化的规律性 ,这对于毫米级精度的卫星激光测距系统的设计具有实际意义 .

Theoretical analysis and numerical solution of laser pulse transformation for satellite laser ranging

The processes of the pulse transformation in satellite laser ranging (SLR) are analyzed,the analytical expressions of the transformation are deduced,and the effects of the transformation on Center-of-Mass corrections of satellite and ranging precision are discussed.The numerical solution of the transformation and its effects are also given.The results reveal the rules of pulse transformation affected by different kinds of factors.These are significant for designing the SLR system with millimeter accuracy.