基于线扫描相位差分成像的光学元件激光损伤快速检测技术

将暗场照明应用到线扫描成像中,提出了一种用于光学元件激光损伤的检测技术。该技术基于相位差分原理,只对引起相位变化的激光损伤区域有响应,因此检测图像具有高对比度。分析了该技术的原理,并从实验上验证了该检测技术的特性。实验研究表明该技术能够获得高对比度和高分辨率的激光损伤图像,且具有快速检测大口径光学元件激光损伤的能力。