基于时域相移技术的结构光三维微纳形貌检测方法

针对微纳器件三维形貌快速检测及重构中的高精度和高速度难以兼得的技术难题,本文提出一种基于时域相移技术的结构光检测方法,通过空间光调制器对测量光进行调制,结合时域相移技术实现微纳器件三维形貌检测和重构。相比传统的结构光检测方法,本技术在样片轴向扫描的同时,利用空间光调制器进行相移测量,保证测量精度的同时提高测量的效率。通过对测量数据进行分析,该方法可快速实现三维形貌检测和重构,测量精度可优于10 nm。