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沉积条件对室温下磁控溅射AZO薄膜微结构与光电性能的影响
被引量:
1
1
作者
莫敏静
刘哲
+4 位作者
马紫腾
董志虎
刘雍
魏长伟
何春清
《半导体光电》
CAS
北大核心
2022年第3期561-566,577,共7页
通过控制室温下射频磁控溅射过程中不同的氩气工作气压、溅射功率和沉积时间,在石英玻璃上沉积Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,探究了三种工艺条件对制备的AZO薄膜的微结构及光电性能的影响。所制备的AZO薄膜经500℃退火后均为六方纤锌矿结构,具有...
通过控制室温下射频磁控溅射过程中不同的氩气工作气压、溅射功率和沉积时间,在石英玻璃上沉积Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,探究了三种工艺条件对制备的AZO薄膜的微结构及光电性能的影响。所制备的AZO薄膜经500℃退火后均为六方纤锌矿结构,具有优异的透明度,在可见光范围内的平均透过率均在86%以上。在气压0.25Pa、功率200W下,溅射时间为10min时,薄膜的电阻率低至5.04×10^(-3)Ω·cm,而溅射时间为15min时,Haacke性能指数最优,为0.314×10^(-3)Ω^(-1)。结果表明,磁控溅射制备的AZO薄膜的晶体结构、方阻和透过率等特性与制备过程中的气压、功率和时间密切相关,通过评价性能指数可指导优化AZO薄膜的制备工艺。
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关键词
AZO透明导电薄膜
射频磁控溅射
室温
气压
功率
沉积时间
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职称材料
让学生摘取作文成功之花——谈谈初中作文教学
被引量:
1
2
作者
莫敏静
《中学教学参考》
2009年第13期68-68,共1页
作文教学在语文教学中占有很高的地位,可以说是语文教学的半壁江山,可见作文教学的重要。然而在实际作文教学中,却存在许许多多的问题。大多数学生都害怕作文,面对文题,思路枯竭,搜肠刮肚,随意编造,学生作文还是贫血缺氧,缺乏...
作文教学在语文教学中占有很高的地位,可以说是语文教学的半壁江山,可见作文教学的重要。然而在实际作文教学中,却存在许许多多的问题。大多数学生都害怕作文,面对文题,思路枯竭,搜肠刮肚,随意编造,学生作文还是贫血缺氧,缺乏生气和活力。写作成了困扰广大语文教师和学生的一大难题,如何提高学生的写作水平,摘取作文成功之花呢?下面谈谈我的几点见解。
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关键词
作文教学
学生作文
初中
语文教学
语文教师
写作
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职称材料
初中语文课外阅读指导方法之我见
被引量:
2
3
作者
莫敏静
《基础教育研究》
2009年第3X期30-31,共2页
多读书,可使人吸取养分,陶冶情操,提升精神品格。但对于中学生看课外书,我们一些老师总是从负面看得多,从消极面想得多,认为看了课外书就必然少看课内书,甚至影响作业的完成、成绩的提高等。我认为,影响是有的,问题是存在的,关键看教师...
多读书,可使人吸取养分,陶冶情操,提升精神品格。但对于中学生看课外书,我们一些老师总是从负面看得多,从消极面想得多,认为看了课外书就必然少看课内书,甚至影响作业的完成、成绩的提高等。我认为,影响是有的,问题是存在的,关键看教师如何引导,如何教会他们课外阅读的方法技巧,让课外阅读成为他们健康成长的一剂良药。1.
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关键词
初中语文
课外阅读指导
课外书
方法技巧
精神品格
学生课外阅读
名著阅读
消遣性
使人
读书笔记
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职称材料
SnO_(2)缓冲层对VO_(2)薄膜微观结构与相变性能的影响
被引量:
2
4
作者
马紫腾
刘哲
+4 位作者
莫敏静
郭佳成
刘雍
魏长伟
何春清
《半导体光电》
CAS
北大核心
2022年第1期132-136,共5页
利用电子束蒸发法在Si衬底上制备了不同厚度的SnO_(2)缓冲层,并使用磁控溅射法制备出上层氧化钒薄膜,研究了SnO_(2)缓冲层厚度对于氧化钒薄膜微观结构、相组成以及相变性能的影响。结果表明,引入具有四方金红石结构的SnO_(2)缓冲层后,...
利用电子束蒸发法在Si衬底上制备了不同厚度的SnO_(2)缓冲层,并使用磁控溅射法制备出上层氧化钒薄膜,研究了SnO_(2)缓冲层厚度对于氧化钒薄膜微观结构、相组成以及相变性能的影响。结果表明,引入具有四方金红石结构的SnO_(2)缓冲层后,上层氧化钒薄膜的结晶性变好,随着SnO_(2)缓冲层厚度的增加,沉积的氧化钒薄膜中V^(4+)含量逐渐提高,氧化钒薄膜的平均晶粒尺寸增大,成膜质量变好;相变锐度有所降低,热滞回线宽度减小。这些结果表示SnO_(2)缓冲层的引入有利于在硅衬底上生长高质量且相变性能优越的VO_(2)薄膜。
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关键词
缓冲层
氧化钒
金属-绝缘体相变
二氧化锡
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职称材料
题名
沉积条件对室温下磁控溅射AZO薄膜微结构与光电性能的影响
被引量:
1
1
作者
莫敏静
刘哲
马紫腾
董志虎
刘雍
魏长伟
何春清
机构
武汉大学物理科学与技术学院湖北省核固体物理重点实验室
武汉长弢新材料有限公司
出处
《半导体光电》
CAS
北大核心
2022年第3期561-566,577,共7页
基金
国家重点研发计划项目(2019YFA0210003)
国家自然科学基金项目(12075172,12074291,11875209)。
文摘
通过控制室温下射频磁控溅射过程中不同的氩气工作气压、溅射功率和沉积时间,在石英玻璃上沉积Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,探究了三种工艺条件对制备的AZO薄膜的微结构及光电性能的影响。所制备的AZO薄膜经500℃退火后均为六方纤锌矿结构,具有优异的透明度,在可见光范围内的平均透过率均在86%以上。在气压0.25Pa、功率200W下,溅射时间为10min时,薄膜的电阻率低至5.04×10^(-3)Ω·cm,而溅射时间为15min时,Haacke性能指数最优,为0.314×10^(-3)Ω^(-1)。结果表明,磁控溅射制备的AZO薄膜的晶体结构、方阻和透过率等特性与制备过程中的气压、功率和时间密切相关,通过评价性能指数可指导优化AZO薄膜的制备工艺。
关键词
AZO透明导电薄膜
射频磁控溅射
室温
气压
功率
沉积时间
Keywords
AZO transparent conductive film
RF magnetron sputtering
room temperature
pressure
power
deposition time
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
让学生摘取作文成功之花——谈谈初中作文教学
被引量:
1
2
作者
莫敏静
机构
广西玉林市仁东第二中学
出处
《中学教学参考》
2009年第13期68-68,共1页
文摘
作文教学在语文教学中占有很高的地位,可以说是语文教学的半壁江山,可见作文教学的重要。然而在实际作文教学中,却存在许许多多的问题。大多数学生都害怕作文,面对文题,思路枯竭,搜肠刮肚,随意编造,学生作文还是贫血缺氧,缺乏生气和活力。写作成了困扰广大语文教师和学生的一大难题,如何提高学生的写作水平,摘取作文成功之花呢?下面谈谈我的几点见解。
关键词
作文教学
学生作文
初中
语文教学
语文教师
写作
分类号
G633.34 [文化科学—教育学]
G63 [文化科学—教育学]
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职称材料
题名
初中语文课外阅读指导方法之我见
被引量:
2
3
作者
莫敏静
机构
玉林市玉州区仁东二中
出处
《基础教育研究》
2009年第3X期30-31,共2页
文摘
多读书,可使人吸取养分,陶冶情操,提升精神品格。但对于中学生看课外书,我们一些老师总是从负面看得多,从消极面想得多,认为看了课外书就必然少看课内书,甚至影响作业的完成、成绩的提高等。我认为,影响是有的,问题是存在的,关键看教师如何引导,如何教会他们课外阅读的方法技巧,让课外阅读成为他们健康成长的一剂良药。1.
关键词
初中语文
课外阅读指导
课外书
方法技巧
精神品格
学生课外阅读
名著阅读
消遣性
使人
读书笔记
分类号
G633.3 [文化科学—教育学]
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职称材料
题名
SnO_(2)缓冲层对VO_(2)薄膜微观结构与相变性能的影响
被引量:
2
4
作者
马紫腾
刘哲
莫敏静
郭佳成
刘雍
魏长伟
何春清
机构
武汉大学物理科学与技术学院湖北省核固体物理重点实验室
武汉长弢新材料有限公司
出处
《半导体光电》
CAS
北大核心
2022年第1期132-136,共5页
基金
国家重点研发计划项目(2019YFA0210003)
国家自然科学基金项目(12075172,12074291,11875209)。
文摘
利用电子束蒸发法在Si衬底上制备了不同厚度的SnO_(2)缓冲层,并使用磁控溅射法制备出上层氧化钒薄膜,研究了SnO_(2)缓冲层厚度对于氧化钒薄膜微观结构、相组成以及相变性能的影响。结果表明,引入具有四方金红石结构的SnO_(2)缓冲层后,上层氧化钒薄膜的结晶性变好,随着SnO_(2)缓冲层厚度的增加,沉积的氧化钒薄膜中V^(4+)含量逐渐提高,氧化钒薄膜的平均晶粒尺寸增大,成膜质量变好;相变锐度有所降低,热滞回线宽度减小。这些结果表示SnO_(2)缓冲层的引入有利于在硅衬底上生长高质量且相变性能优越的VO_(2)薄膜。
关键词
缓冲层
氧化钒
金属-绝缘体相变
二氧化锡
Keywords
buffer layer
vanadium oxide
metal-insulator phase transition
tin dioxide
分类号
TN383.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
沉积条件对室温下磁控溅射AZO薄膜微结构与光电性能的影响
莫敏静
刘哲
马紫腾
董志虎
刘雍
魏长伟
何春清
《半导体光电》
CAS
北大核心
2022
1
下载PDF
职称材料
2
让学生摘取作文成功之花——谈谈初中作文教学
莫敏静
《中学教学参考》
2009
1
下载PDF
职称材料
3
初中语文课外阅读指导方法之我见
莫敏静
《基础教育研究》
2009
2
下载PDF
职称材料
4
SnO_(2)缓冲层对VO_(2)薄膜微观结构与相变性能的影响
马紫腾
刘哲
莫敏静
郭佳成
刘雍
魏长伟
何春清
《半导体光电》
CAS
北大核心
2022
2
下载PDF
职称材料
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