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沉积条件对室温下磁控溅射AZO薄膜微结构与光电性能的影响 被引量:1
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作者 莫敏静 刘哲 +4 位作者 马紫腾 董志虎 刘雍 魏长伟 何春清 《半导体光电》 CAS 北大核心 2022年第3期561-566,577,共7页
通过控制室温下射频磁控溅射过程中不同的氩气工作气压、溅射功率和沉积时间,在石英玻璃上沉积Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,探究了三种工艺条件对制备的AZO薄膜的微结构及光电性能的影响。所制备的AZO薄膜经500℃退火后均为六方纤锌矿结构,具有... 通过控制室温下射频磁控溅射过程中不同的氩气工作气压、溅射功率和沉积时间,在石英玻璃上沉积Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,探究了三种工艺条件对制备的AZO薄膜的微结构及光电性能的影响。所制备的AZO薄膜经500℃退火后均为六方纤锌矿结构,具有优异的透明度,在可见光范围内的平均透过率均在86%以上。在气压0.25Pa、功率200W下,溅射时间为10min时,薄膜的电阻率低至5.04×10^(-3)Ω·cm,而溅射时间为15min时,Haacke性能指数最优,为0.314×10^(-3)Ω^(-1)。结果表明,磁控溅射制备的AZO薄膜的晶体结构、方阻和透过率等特性与制备过程中的气压、功率和时间密切相关,通过评价性能指数可指导优化AZO薄膜的制备工艺。 展开更多
关键词 AZO透明导电薄膜 射频磁控溅射 室温 气压 功率 沉积时间
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让学生摘取作文成功之花——谈谈初中作文教学 被引量:1
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作者 莫敏静 《中学教学参考》 2009年第13期68-68,共1页
作文教学在语文教学中占有很高的地位,可以说是语文教学的半壁江山,可见作文教学的重要。然而在实际作文教学中,却存在许许多多的问题。大多数学生都害怕作文,面对文题,思路枯竭,搜肠刮肚,随意编造,学生作文还是贫血缺氧,缺乏... 作文教学在语文教学中占有很高的地位,可以说是语文教学的半壁江山,可见作文教学的重要。然而在实际作文教学中,却存在许许多多的问题。大多数学生都害怕作文,面对文题,思路枯竭,搜肠刮肚,随意编造,学生作文还是贫血缺氧,缺乏生气和活力。写作成了困扰广大语文教师和学生的一大难题,如何提高学生的写作水平,摘取作文成功之花呢?下面谈谈我的几点见解。 展开更多
关键词 作文教学 学生作文 初中 语文教学 语文教师 写作
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初中语文课外阅读指导方法之我见 被引量:2
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作者 莫敏静 《基础教育研究》 2009年第3X期30-31,共2页
多读书,可使人吸取养分,陶冶情操,提升精神品格。但对于中学生看课外书,我们一些老师总是从负面看得多,从消极面想得多,认为看了课外书就必然少看课内书,甚至影响作业的完成、成绩的提高等。我认为,影响是有的,问题是存在的,关键看教师... 多读书,可使人吸取养分,陶冶情操,提升精神品格。但对于中学生看课外书,我们一些老师总是从负面看得多,从消极面想得多,认为看了课外书就必然少看课内书,甚至影响作业的完成、成绩的提高等。我认为,影响是有的,问题是存在的,关键看教师如何引导,如何教会他们课外阅读的方法技巧,让课外阅读成为他们健康成长的一剂良药。1. 展开更多
关键词 初中语文 课外阅读指导 课外书 方法技巧 精神品格 学生课外阅读 名著阅读 消遣性 使人 读书笔记
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SnO_(2)缓冲层对VO_(2)薄膜微观结构与相变性能的影响 被引量:2
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作者 马紫腾 刘哲 +4 位作者 莫敏静 郭佳成 刘雍 魏长伟 何春清 《半导体光电》 CAS 北大核心 2022年第1期132-136,共5页
利用电子束蒸发法在Si衬底上制备了不同厚度的SnO_(2)缓冲层,并使用磁控溅射法制备出上层氧化钒薄膜,研究了SnO_(2)缓冲层厚度对于氧化钒薄膜微观结构、相组成以及相变性能的影响。结果表明,引入具有四方金红石结构的SnO_(2)缓冲层后,... 利用电子束蒸发法在Si衬底上制备了不同厚度的SnO_(2)缓冲层,并使用磁控溅射法制备出上层氧化钒薄膜,研究了SnO_(2)缓冲层厚度对于氧化钒薄膜微观结构、相组成以及相变性能的影响。结果表明,引入具有四方金红石结构的SnO_(2)缓冲层后,上层氧化钒薄膜的结晶性变好,随着SnO_(2)缓冲层厚度的增加,沉积的氧化钒薄膜中V^(4+)含量逐渐提高,氧化钒薄膜的平均晶粒尺寸增大,成膜质量变好;相变锐度有所降低,热滞回线宽度减小。这些结果表示SnO_(2)缓冲层的引入有利于在硅衬底上生长高质量且相变性能优越的VO_(2)薄膜。 展开更多
关键词 缓冲层 氧化钒 金属-绝缘体相变 二氧化锡
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